[发明专利]光学探测装置及包含所述光学探测装置的测量系统

权利要求书

1.一种测量系统，其包括：

透镜装置；

图像检索装置，其通过所述透镜装置检索物体的图像；

定位平台，其用以调整所述透镜装置的焦距；

光学探测装置，其用以探测所述物体的位置且发出第一信号；及

信号处理装置，其在接收且处理所述第一信号后发出第二信号至所述定位平台。

2.如权利要求1所述的测量系统，其中所述透镜装置包括十倍物镜。

3.如权利要求1所述的测量系统，其中所述图像检索装置为CCD镜头。

4.如权利要求1所述的测量系统，其中所述定位平台包括驱动马达、马达轴控制卡及平台本体。

5.如权利要求1所述的测量系统，其进一步包括固定衬底，所述透镜装置、所述图像检索装置、所述定位平台及所述光学探测装置均位于所述固定衬底上。

6.如权利要求1所述的测量系统，其进一步包括固定架及微调平台，所述光学探测装置固定在所述微调平台上，所述微调平台固定在所述固定架上，而所述固定架固定在所述固定衬底上。

7.如权利要求1所述的测量系统，其中所述光学探测装置包括：

发光源，其用以发出光束；

光栅，其用以使所述光束产生衍射；

分光器，其用以使所述光束偏振且改变所述光束的行进方向；

准直透镜，其用以使所述光束形成准直光束；

反射镜，其用以改变所述准直光束的行进方向；

物镜，其中央具有多个同心圆形沟槽，用以将所述准直光束聚焦至所述物体上；

柱面透镜，其用以接收来自所述物体的反射光束，所述反射光束穿过所述物镜、所述反射镜、所述准直透镜及所述分光器；及

光电探测器，其用以探测所述反射光束且发出所述第一信号。

8.如权利要求7所述的测量系统，其中所述发光源为激光二极管。

9.如权利要求7所述的测量系统，其中所述分光器包括偏振分束器及1/4波片。

10.如权利要求7所述的测量系统，其进一步包括连接到所述物镜的音圈。

11.如权利要求7所述的测量系统，其中所述光电探测器为光电二极管，其包括四象限光电探测器，所述四象限光电探测器依据所述反射光在四个象限上的光分布而输出聚焦错误信号。

12.如权利要求7所述的测量系统，其进一步包括本体外壳及L形管，所述本体外壳用以容纳所述发光源、所述光栅、所述分光器、所述准直透镜、所述柱面透镜及所述光电探测器，所述L形管具有第一端、转折部及第二端，所述第一端连接至所述本体外壳，所述反射镜位于所述转折部处，所述物镜位于所述第二端。