[发明专利]微机电系统开关

权利要求书

1.一种微机电系统开关，包括：

具有支承表面的基底；

包括凹口的促动表面；

包括延长部分的电接触表面，其中，所述延长部分设置在所述凹口内；以及

附接到所述基底的梁，所述梁具有构造成随着促动而弯曲以与所述延长部分的至少一部分接触并且运送电流通过的可促动自由端。

2.根据权利要求1所述的微机电系统开关，其特征在于，所述促动表面在促动过程中提供静电力。

3.根据权利要求1所述的微机电系统开关，其特征在于，所述微机电系统开关进一步包括限定所述可促动自由端、所述延长部分以及所述促动表面的重叠，其中，所述重叠提供大于大约1.5的断开比。

4.根据权利要求3所述的微机电系统开关，其特征在于，所述重叠提供大约1.5到大约5的断开比。

5.一种机械开关，包括：

限定凹口的栅极；

包括延长部分的漏极，其中，所述延长部分设置在所述凹口内；

固定在支承柱上的悬臂梁，所述悬臂梁具有自由可动端；以及

所述自由可动端与所述延长部分重叠，以与所述漏极的至少一部分接触以形成电通路。

6.一种机械开关，包括：

固定在支承柱上并且包括可动部件的悬臂梁；

包括间隙的促动区域，构造成提供静电力；以及

设置为靠近所述促动区域的电极区域，

其中，所述促动区域限定凹口，并且所述电极区域包括由所述凹口在至少两侧围绕的延长部分；

其中，所述可动部件设置为靠近所述促动区域并且与所述延长部分重叠以提供大于大约1.5的隔绝电压对吸合电压的比。

7.根据权利要求6所述的开关，其特征在于，所述悬臂梁随着促动而弯曲以与所述电极形成电连接。

8.根据权利要求6所述的开关，其特征在于，所述静电力构造成在所述开关操作过程中在所述第一电触点和所述第二电触点之间提供接触力。

9.一种增加开关中隔绝电压和吸合电压之间比率的方法，所述方法包括：

提供限定间隙的促动表面；

提供包括延长部分的电接触表面，所述延长部分延伸到所述间隙内；

提供悬在所述促动表面和所述电接触表面上方的梁；

限定包括所述促动表面、所述电接触表面和所述梁的重叠区域；以及

将所述重叠区域优化为包括大于大约1.5的隔绝电压对吸合电压的比。

10.根据权利要求9所述的开关，其特征在于，所述重叠区域包括大约1.7到大约5的隔绝电压对吸合电压的比。