[发明专利]腔门固定装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种板类部件的固定装置，尤其涉及一种适用于将腔门固定于腔体壁上且能解除固定的腔门固定装置。

背景技术

在半导体器件或平板显示器件的制造工艺中，为了保证较高的清洁度，常常需要在真空设备中完成各种工艺，因此用于制造半导体器件或平板显示器件的设备，一般被设计成将基板输送到真空设备中并利用等离子体对基板执行所需的工艺，以OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)的真空蒸镀为例，将加工好的基板传输至密封的真空工艺室内，在真空条件下，将真空工艺室内的固体材料加热蒸发，蒸发出来的原子或分子自由地吸附在基板上逐渐形成薄膜，进而形成OLED的各个材料层。

现有的真空加工设备通常包括三种真空腔室，即负载室、传送室及工艺室，负载室用于从外部站台接收将要在设备中进行加工的基板以便装载基板，或用来输出设备中加工完成的基板以便卸载基板；传送室用于在各个腔室之间传送基板；工艺室用来在真空环境下利用等离子体或热能对基板执行所需的工艺，如真空蒸镀或蚀刻工艺等。由于工艺室利用各种加工气体或等离子气体来重复大量工艺，因此，工艺室内的设备易于受损或受污染，从而需要定期更换或维修。因此，工艺室一般设计成由中空结构的腔体和可启闭的腔门密封构成，腔门可以打开以便对工艺室内部进行维护或更换，而在执行工艺步骤时腔门关闭且要能保证工艺室内部的密封性，因此常常在腔门内侧安装密封圈，当腔门关闭时保证腔门与腔体密封，腔门关闭后还需要一固定装置将腔门与腔体进行固定连接，以进一步加强真空工艺室的密封性并保证操作的安全性。

如图1所示，现有的用于将腔门200`固定于腔体壁100`上的装置，一般采用具有压纹的旋钮300`，旋钮300`的头部301`具有螺纹，中部具有压纹302`，在腔门200`上开设有与旋钮300`相对应的安装孔201`，旋钮300`安装于腔门200`上的安装孔201`内并穿过安装孔201`，腔体壁100`上开设有与安装孔201`相对应的螺纹孔101`，用与旋钮300`配合连接，腔门200`关闭时，将旋钮300`的头部301`旋入腔壁100`上的螺纹孔101`内使腔门200`与腔体壁100`固定，腔门200`与腔体壁100`压紧实现真空工艺室的密封；然而，为了保持真空工艺室的密封需要最大限度的旋进压纹旋钮300`，这样所有的压力都需要由腔门200`上的密封圈202`承担，导致密封圈202`压迫量过大而影响密封效果，同时也缩短了密封圈202`的使用寿命；需要开启腔门200`时，需要将旋钮300`旋出腔体壁100`上的螺纹孔101`，这样在腔门200`开启过程中旋钮300`在重力的作用下容易脱离腔门200`上的安装孔201`，为使用带来诸多不便。

因此，急需一种能分担密封圈压迫量，且在腔门开启时能防止脱落的固定装置。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能分担密封圈压迫量，且在腔门开启时能防止脱落的固定装置。

为实现上述目的，本发明的技术方案为：提供一种腔门固定装置，适用于将腔门固定于腔体壁上且能解除固定，其包括手柄、阻挡件及弹簧，所述手柄向外凸伸出凸台，所述凸台向外凸伸出连接杆，所述连接杆的末端开设有螺纹并形成螺纹部，所述凸台开设有环绕所述连接杆的第一环槽，所述弹簧穿设于所述连接杆上且一端安装于所述第一环槽内，所述弹簧的另一端凸伸出所述第一环槽，所述腔门贯穿开设有安装孔，所述腔体壁正对所述安装孔开设有具有内螺纹的螺纹孔，所述连接杆穿入所述安装孔且所述螺纹部伸出所述安装孔，所述阻挡件卡设于所述连接杆上且位于所述螺纹部与所述凸台之间，所述阻挡件与所述腔门的内表面分离地抵触，所述凸台与所述腔门的外表面分离地抵触。

较佳地，所述安装孔呈台阶状，所述台阶自所述腔门的内表面凹陷形成且正对所述螺纹孔，所述阻挡件容置于所述安装孔内并与所述安装孔的台阶分离地抵触；腔门关闭时，将手柄的螺纹部旋进腔体壁上的螺纹孔内，使螺纹部与腔体壁螺纹连接，所述阻挡件与所述安装孔的台阶相分离，手柄的凸台与所述腔门的外表面相抵触；开启腔门时，旋转手柄使螺纹部退出腔体壁的螺纹孔，所述阻挡件与所述安装孔的台阶相抵触，手柄的凸台与所述腔门的外表面相分离，腔门开启的过程中，腔门固定装置不会脱离腔门，方便腔门的频繁开启。

较佳地，所述阻挡件为弹性挡圈；更具体地，所述连接杆开设有安装槽，所述弹性挡圈卡设于所述安装槽内并凸出所述安装槽，弹性挡圈具有较好的弹性，使用寿命长，且成本低。