[发明专利]蒸发舟夹紧装置在审
| 申请号： | 200910215555.7 | 申请日： | 2009-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN101736294A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 杨明生;刘惠森;范继良;叶宗锋;王曼媛;王勇 | 申请（专利权）人： | 东莞宏威数码机械有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;H01L51/56 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 张艳美;郝传鑫 |
| 地址： | 523018 广东省东莞南城区宏*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸发 夹紧 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种蒸发舟夹紧装置，适用于对真空镀膜设备中的蒸发舟进行导电及夹 紧，其特征在于：所述蒸发舟夹紧装置包括电极件及压紧件，所述电极件开设 有定位槽，所述蒸发舟的安装端收容于所述定位槽内，所述压紧件与所述电极 件枢接并抵压于收容于所述定位槽内的蒸发舟的安装端上。
2.如权利要求1所述的蒸发舟夹紧装置，其特征在于：所述电极件包括电 极块及导电座，所述电极块的顶面开设有安装凹槽，所述导电座的底面开设有 与所述安装凹槽相对应的安装凸块，所述导电座的顶面凸伸出相互平行的第一 支撑架及第二支撑架，所述压紧件与所述导电座枢接，所述第一支撑架、所述 第二支撑架与所述导电座的顶面之间形成所述定位槽。
3.如权利要求2所述的蒸发舟夹紧装置，其特征在于：还包括铰轴，所述 第一支撑架及第二支撑架与所述压紧件沿同一直线均开设有通孔，所述铰轴枢 接地穿过所述通孔使所述压紧件与所述导电座枢接。
4.如权利要求2所述的蒸发舟夹紧装置，其特征在于：所述压紧件设有紧 定螺钉，所述紧定螺钉啮合穿过所述压紧件并与所述导电座的顶面抵压，所述 紧定螺钉驱动所述压紧件与所述蒸发舟的安装端抵压。
5.如权利要求2所述的蒸发舟夹紧装置，其特征在于：所述电极块的顶面 呈台阶状。
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