[发明专利]透明电极形成用光固化性树脂组合物以及透明电极的制造方法有效
申请号: | 200910215566.5 | 申请日: | 2009-12-23 |
公开(公告)号: | CN101876790A | 公开(公告)日: | 2010-11-03 |
发明(设计)人: | 植松照博;桃泽绫;高木利哉 | 申请(专利权)人: | 东京应化工业株式会社 |
主分类号: | G03F7/031 | 分类号: | G03F7/031;G03F7/033;G03F7/00 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫 |
地址: | 日本神奈川县川*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 透明 电极 形成 用光 固化 树脂 组合 以及 制造 方法 | ||
技术领域
本发明涉及透明电极形成用光固化性树脂组合物以及使用该组合物的透明电极的制造方法,更具体地,涉及适用于形成等离子显示板透明电极的透明电极形成用光固化性树脂组合物以及使用该组合物的透明电极的制造方法。
背景技术
利用放电显影使多个微小元件(cell)自我发光而形成显示图像的等离子显示板(以下也称为“PDP”。),具有画面大、轻薄、平坦等以往显示板无法实现的优异特征,因此正在实现等离子显示板的普及。
该PDP是将前板与后板一体化形成的显示元件,其中前板将透明电极和汇流电极(bus electrode)构成的复合电极相互平行地形成配线,后板将寻址电极(address electrode)以与上述复合电极直交的状态相互平行地形成配线,通过将前板与后板相向设置,从而在形成这些电极的基板之间形成发光部。
以往,作为形成PDP的透明电极的方法,有剥离法(liftoff method)和蚀刻法等,蚀刻法为常用方法。在该蚀刻法中,例如,通过溅射、蒸镀在玻璃基板上形成透明导电性膜后,涂布光固化性树脂组合物,形成光固化性树脂层。接着,将形成有光固化性树脂层的玻璃基板真空吸附在曝光装置的操作台(stage)上,经由掩模(mask)通过超高压水银灯等进行曝光。然后,用显影液显影形成光刻胶图案(resist pattern),将该光刻胶图案作为掩模对透明导电性膜进行蚀刻,从而形成透明电极。
然而,剥离法、蚀刻法均存在以下问题:曝光时曝光光在玻璃基板上或曝光装置的操作台上反射,产生光晕(halation)(参照专利文献1)。在透明电极的形成中,用于形成透明电极的光固化性树脂组合物和基板都是透明的,因而容易受到光晕导致的线幅变化的影响,特别是在曝光装置的操作台上设置有用于真空吸附的沟、孔图案,因此这些沟图案等会使形成的图案的线幅改变、或使图案形状变差。
这种光晕的问题,不仅限于PDP,在形成表面传导电子发射显示器(以下简称“SED”。)等的透明电极时也会产生。
专利文献1:日本特开2006-276791号公报
发明内容
本发明是鉴于上述课题而完成的,目的在于提供能够在形成PDP、SED等的透明电极时防止或减轻光晕的影响、并实现高灵敏度的透明电极形成用光固化性树脂组合物,以及使用该组合物的透明电极的制造方法。
本发明人为了实现上述目的反复进行了深入研究,结果发现如果使用特定的组合物可以解决上述课题,从而完成了本发明。具体而言,本发明提供以下方案。
本发明的第一实施方式为透明电极形成用光固化性树脂组合物,其包含:对360nm波长的光的透过率不足80%的光聚合引发剂(a)、具有酸基的树脂(b)、具有乙烯性不饱和基团的单体(c)、以及实质性透过300~355nm波长的光且实质性吸收360~400nm波长的光的光吸收剂(d)。
本发明的第二实施方式为透明电极的制造方法,该方法包括:在形成有透明导电性膜的玻璃基板上涂布本发明的透明电极形成用光固化性树脂组合物,选择性曝光后,显影以形成光刻胶图案的工序;将上述光刻胶图案作为掩模,对上述透明导电性膜进行选择性蚀刻的工序;以及剥离上述光刻胶图案的工序。
根据本发明,可以提供在形成PDP、SED等的透明电极时能够防止或减轻光晕影响的透明电极形成用光固化性树脂组合物,以及使用该组合物的透明电极的制造方法。
具体实施方式
以下,对本发明的实施方式进行说明。本说明书中,“(甲基)丙烯酸”表示丙烯酸和甲基丙烯酸中的一种或两种。同样地,“(甲基)丙烯酸酯”表示丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯中的一种或两种。
《光固化性树脂组合物》
本发明的透明电极形成用光固化性树脂组合物(以下简称为“光固化性树脂组合物”。)包含:对360nm波长的光的透过率不足80%的光聚合引发剂(a)、具有酸基的树脂(b)、具有乙烯性不饱和基团的单体(c)、以及实质性透过300~355nm波长的光且实质性吸收360~400nm波长的光的光吸收剂(d)。以下,对本发明的光固化性树脂组合物中所含的各成分进行说明。
[光聚合引发剂(a)]
本发明的光固化性树脂组合物含有对360nm波长的光的透过率不足80%的光聚合引发剂(a)(以下也称为“(a)成分”。)。
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