[发明专利]用镀膜技术提高金属抗腐耐磨自润滑性能的方法

权利要求书

1.一种用镀膜技术提高金属抗腐耐磨自润滑性能的方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：

将去毛刺、抛光、清洁后的钛合金部件置于工件架上，然后将该工件架放置于真空镀膜室中；

通过物理气相沉积方法在该钛合金部件表面镀上所需的抗腐蚀膜层；

通过物理气相沉积方法在上述钛合金部件的抗腐蚀膜层表面再镀上所需的耐磨自润滑膜层。

2.根据权利要求1所述的用镀膜技术提高金属抗腐耐磨自润滑性能的方法，其特征在于，所述抗腐蚀膜层包括铝合金系列的薄膜。

3.根据权利要求1或2所述的用镀膜技术提高金属抗腐耐磨自润滑性能的方法，其特征在于，所述耐磨自润滑膜层包括先镀上的铝合金混二硫化钼膜层及后镀上的二硫化钼膜层。

4.根据权利要求1或2所述的用镀膜技术提高金属抗腐耐磨自润滑性能的方法，其特征在于，所述耐磨自润滑膜层包括先镀上的钛合金混二硫化钼膜层及后镀上的二硫化钼膜层。

5.根据权利要求1或2所述的用镀膜技术提高金属抗腐耐磨自润滑性能的方法，其特征在于，所述耐磨自润滑膜层包括先镀上的铝合金混钛合金混二硫化钼膜层及后镀上的二硫化钼膜层。

6.根据权利要求1所述的用镀膜技术提高金属抗腐耐磨自润滑性能的方法，其特征在于，所述物理气相沉积方法包括磁控溅射方法、多弧离子镀方法及电子枪蒸发。