[发明专利]气浮式基板传动机构无效
| 申请号： | 200910217333.9 | 申请日： | 2009-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN101759017A | 公开（公告）日： | 2010-06-30 |
| 发明（设计）人： | 杨明生;范振华;覃海;蓝劾 | 申请（专利权）人： | 东莞宏威数码机械有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;B65G49/07;B65G35/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 张艳美;郝传鑫 |
| 地址： | 523018 广东省东莞南城区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 气浮式基板 传动 机构 | ||
1.一种气浮式基板传动机构，包括气爪和气浮载台，所述气爪用于将基板夹持 并固定于所述气浮载台上，其特征在于：所述气浮载台包括气板，所述气板上 具有与充气系统相连的若干个喷气孔，且所述气板上表面的喷气量从所述气板 中心向所述气板边缘逐渐增大。
2.如权利要求1所述的气浮式基板传动机构，其特征在于：所述喷气孔密度从 所述气板中心向所述气板边缘逐渐增大。
3.如权利要求1所述的气浮式基板传动机构，其特征在于：所述气板上表面的 喷气孔孔径从所述气板中心向所述气板边缘逐渐增大。
4.如权利要求1所述的气浮式基板传动机构，其特征在于：所述气板上还包括 与抽气系统相连的若干个泄气孔，所述泄气孔密度从所述气板中心向所述气板 边缘逐渐减小。
5.如权利要求1所述的气浮式基板传动机构，其特征在于：所述气板上还包括 与抽气系统相连的若干个泄气孔，所述气板上表面的泄气孔孔径从所述气板中 心向所述气板边缘逐渐减小。
6.如权利要求4或5所述的气浮式基板传动机构，其特征在于：所述泄气孔上 表面孔径小于所述泄气孔下表面孔径。
7.如权利要求1所述的气浮式基板传动机构，其特征在于：所述喷气孔上表面 孔径大于所述喷气孔下表面孔径。
8.如权利要求1所述的气浮式基板传动机构，其特征在于：所述气板上表面两 端的喷气孔密度大于所述气板中间的喷气孔密度。
9.如权利要求1所述的气浮式基板传动机构，其特征在于：所述气板上表面两 端的喷气孔孔径大于所述气板中间的喷气孔孔径。
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