[发明专利]六自由度磁悬浮微动平台

权利要求书

1.六自由度磁悬浮微动平台，其特征在于它包括平台底座、支撑平台(4)、m个磁悬 浮水平支撑机构(1)和m个磁悬浮垂直支撑机构(2)，m个磁悬浮水平支撑机构(1)和 m个磁悬浮垂直支撑机构(2)相间分布分别固定在平台底座顶面周边、并组成对称结构 的2m边形，支撑平台(4)与每一个磁悬浮水平支撑机构(1)的动子(11)和磁悬浮垂 直支撑机构(2)的动子(21)固定连接，所述磁悬浮垂直支撑机构(2)与磁悬浮水平支 撑机构(1)的结构相同，所述磁悬浮垂直支撑机构(2)的动子(21)的运动方向为垂直 方向，所述磁悬浮水平支撑机构(1)的动子(11)的运动方向为水平方向，m为自然数；

m取值为3，3个磁悬浮水平支撑机构(1)和3个磁悬浮垂直支撑机构(2)组成一 个对称结构的六边形；

m取值为4时，4个磁悬浮水平支撑机构(1)和4个磁悬浮垂直支撑机构(2)组成 一个对称结构的八边形。

2.根据权利要求1所述的六自由度磁悬浮微动平台，其特征在于，所述磁悬浮水平 支撑机构(1)由定子和动子(11)构成，定子包括左轭板(101)、左轭板永磁体组(103)、 左控制线圈组(102)、两个支撑边(12)、右轭板(111)、右轭板永磁体组(113)、右控制 线圈组(112)，左轭板(101)和右轭板(111)相互平行布置，左轭板(101)和右轭板(111) 与两个支撑边(12)组成矩形框，左轭板永磁体组(103)固定在左轭板(101)的右表面， 右轭板永磁体组(113)固定在右轭板(111)的左表面，所述左轭板永磁体组(103)和右 轭板永磁体组(113)分别包括两块永磁体，每块永磁体的外侧缠绕有水平方向的线圈，缠 绕在左轭板永磁体组(103)中的两个永磁体外侧的两个线圈组成左控制线圈组(102)， 缠绕在右轭板永磁体组(113)中的两个永磁体外侧的两个线圈组成右控制线圈组(112)， 动子(11)由两块永磁体和一块连结板组成，所述连结板位于两块永磁体之间，动子(11) 位于左轭板永磁体组(103)和右轭板永磁体组(113)之间，并且所述左轭板永磁体组(103)、 右轭板永磁体组(113)和动子中的两个永磁体位于同一平面内。

3.根据权利要求1所述的六自由度磁悬浮微动平台，其特征在于，所述磁悬浮水平 支撑机构(1)由定子和动子(11)构成，定子包括左轭板(101)、左轭板永磁体组(103)、 左控制线圈组(102)、两个支撑边(12)、右轭板(111)、右轭板永磁体组(113)、右控制 线圈组(112)，左轭板(101)和右轭板(111)相互平行布置，左轭板(101)和右轭板(111) 与两个支撑边(12)组成矩形框，左轭板永磁体组(103)固定在左轭板(101)的右表面， 右轭板永磁体组(113)固定在右轭板(111)的左表面，所述左轭板永磁体组(103)和右 轭板永磁体组(113)分别包括两块永磁体，左控制线圈组(102)缠绕在左轭板(101)上， 并且位于左轭板永磁体组(103)中的两个永磁体之间，右控制线圈组(112)缠绕在右轭 板(111)上，并且位于右轭板永磁体组(113)中的两个永磁体之间，动子(11)由两块 永磁体和一块连结板组成，所述连结板位于两块永磁体之间，动子(11)位于左轭板永磁 体组(103)和右轭板永磁体组(113)之间，并且所述左轭板永磁体组(103)、右轭板永 磁体组(113)和动子中的两个永磁体位于同一平面内。

4.根据权利要求2或3所述的六自由度磁悬浮微动平台，其特征在于，左轭板永磁 体组(103)中的两块永磁体的充磁方向相反，右轭板永磁体组(113)中的两块永磁体的 充磁方向相反，动子(11)的两块永磁体的充磁方向相反，并且水平相邻的左轭板永磁体 组(103)中的永磁体与动子(11)中的永磁体的充磁方向相反，水平相邻的右轭板永磁体 组(113)中的永磁体与动子(11)中的永磁体的充磁方向亦相反。