[发明专利]基于MEMS微泵的飞轮用固液复合润滑轴系无效
| 申请号： | 200910217819.2 | 申请日： | 2009-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN101699125A | 公开（公告）日： | 2010-04-28 |
| 发明（设计）人： | 白越;吴一辉;黄敦新 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | F16N7/40 | 分类号： | F16N7/40;F16C35/12;F16C33/58;B64G1/24 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 mems 飞轮 用固液 复合 润滑 | ||
1.基于MEMS微泵的飞轮用固液复合润滑轴系，其特征在于，该轴系包括第一MEMS微孔增强的固体薄膜润滑陶瓷轴承(1)、MEMS微泵储油-供油系统(2)、第二MEMS微孔增强的固体薄膜润滑陶瓷轴承(3)、主轴(4)、内支撑套(5)、外支撑套(6)和油储(7)；第一MEMS微孔增强的固体薄膜润滑陶瓷轴承(1)和第二MEMS微孔增强的固体薄膜润滑陶瓷轴承(3)同轴排列安装于主轴(4)上，两端由内支撑套(5)实现紧固，由外支撑套(6)实现预紧；MEMS微泵储油-供油系统(2)包括空腔储油器(8)、楔形微进油口(9)、阀腔(10)、微阀(11)和楔形微出油口(12)；第一MEMS微孔增强的固体薄膜润滑陶瓷轴承(1)的内圈沟道(17)和外圈沟道(18)，以及第二MEMS微孔增强的固体薄膜润滑陶瓷轴承(3)的内圈沟道(17)和外圈沟道(18)，其各沟道表面在涂敷固体润滑薄膜之前均采用MEMS工艺在沟道表面预制微孔；MEMS微泵储油-供油系统(2)安装在第一MEMS微孔增强的固体薄膜润滑陶瓷轴承(1)和第二MEMS微孔增强的固体薄膜润滑陶瓷轴承(3)之间，其固定方式由飞轮电机转子的类型确定；油储(7)与MEMS微泵储油-供油系统(2)的楔形微进油口(9)相连接。
2.根据权利要求1所述的基于MEMS微泵的飞轮用固液复合润滑轴系，其特征在于，当飞轮电机的转子为外转子时，所述的MEMS微泵储油-供油系统(2)固定于外支撑套(6)上；当飞轮电机的转子为内转子时，所述的MEMS微泵储油-供油系统(2)固定于内支撑套(5)上。
3.根据权利要求1所述的基于MEMS微泵的飞轮用固液复合润滑轴系，其特征在于，为所述的第一MEMS微孔增强的固体薄膜润滑陶瓷轴承(1)和第二MEMS微孔增强的固体薄膜润滑陶瓷轴承(3)提供润滑的液体润滑剂由空腔油储(7)所供给。
4.根据权利要求1所述的基于MEMS微泵的飞轮用固液复合润滑轴系，其特征在于，将油储(7)中润滑油精确提供给轴承的机构为采用MEMS微加工工艺制作的MEMS微泵储油-供油系统(2)。
5.根据权利要求1或2或4所述的基于MEMS微泵的飞轮用固液复合润滑轴系，其特征在于，所述的MEMS微泵储油-供油系统(2)的进油口(9)和 出油口(12)，其形状均采用楔形微孔，且表面涂有增加液体润滑剂粘滞阻力的高分子涂层。
6.根据权利要求1所述的基于MEMS微泵的飞轮用固液复合润滑轴系，其特征在于，所述第一MEMS微孔增强的固体薄膜润滑陶瓷轴承(1)和第二MEMS微孔增强的固体薄膜润滑陶瓷轴承(3)的内圈沟道(17)和外圈沟道(18)表面微孔的横截面形状为圆形、方形或矩形，其深度为10微米到1毫米。
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