[发明专利]主轴真空动密封系统无效

专利信息
申请号: 200910218642.8 申请日: 2009-10-29
公开(公告)号: CN102053488A 公开(公告)日: 2011-05-11
发明(设计)人: 王朝伟;徐震 申请(专利权)人: 西北机器有限公司
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00;F16J15/40
代理公司: 西安创知专利事务所 61213 代理人: 李子安
地址: 710119 陕西省*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 主轴 真空 密封 系统
【权利要求书】:

1.一种主轴真空动密封系统,包括真空气源(1),以及控制整个系统中真空启闭及大小的精密真空度检测开关(5),其特征在于:所述真空气源(1)出口通过真空管道与真空电磁阀(2)入口相连接,所述真空电磁阀(2)出口通过真空管道与真空陷阱(3)相连接,所述真空陷阱(3)通过真空管道与主轴旋转密封模块(4)入口相连接,所述真空陷阱(3)与主轴旋转密封模块(4)之间的管道上设置有精密真空度检测开关(5)。

2.按照权利要求1所述的主轴真空动密封系统,其特征在于:所述主轴旋转密封模块(4)包括内部设置有竖向贯通轴孔(4-2)、上阶梯槽(4-3)及下阶梯槽(4-4)的密封块(4-1),所述密封块(4-1)内部垂直于轴孔(4-2)方向设置有真空通道(4-5),所述轴孔(4-2)内部安装有侧壁对应真空通道(4-5)的位置开有小孔的空心轴(4-6),所述上阶梯槽(4-3)内依次安装有压板一(4-7)、底圈一(4-8)和密封圈一(4-9),所述底圈一(4-8)与空心轴(4-6)之间设置有密封套一(4-10),所述密封套一(4-10)内部安装有密封圈二(4-11),所述下阶梯槽(4-4)内依次安装有压板二(4-12)、底圈二(4-13)和密封圈三(4-14),所述底圈二(4-13)与空心轴(4-6)之间设置有密封套二(4-15),所述密封套二(4-15)内部安装有密封圈四(4-16)。

3.按照权利要求1所述的主轴真空动密封系统,其特征在于:所述真空电磁阀(2)为两位两通真空电磁阀。

4.按照权利要求2所述的主轴真空动密封系统,其特征在于:所述压板一(4-7)和压板二(4-12)均通过螺纹或螺钉方式与密封块(4-1)相连接。

5.按照权利要求2所述的主轴真空动密封系统,其特征在于:所述密封圈一(4-9)、密封圈二(4-11)、密封圈三(4-14)和密封圈四(4-16)均为O型密封圈。

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