[发明专利]薄膜及光学元件激光损伤阈值组合测试装置及测试方法

权利要求书

1.一种薄膜及光学元件激光损伤阈值组合测试装置，包括测试组件和处理组件，其中测试组件包括设置于一条主光轴上的Nd:YAG激光器（1）、开关档板（2），衰减器（3），第一分束器（4）、聚焦透镜（5）、第二分束器（6）和样片台（9），还包括光束分析仪（13）和能量计（14），光束分析仪（13）位于分束器（6）的反射光路上，能量计（14）位于分束器（4）的反射光路上，其特征在于：测试组件中还包括辅助激光器（7）、光电二极管阵列（8）、会聚透镜（10）、光电探测器件（11）和CCD照相机（12），其中辅助激光器（7）偏离主光轴设置，其发射光束朝向样片台（9），所述CCD照相机（12）设置于辅助激光器（7）反射光束与主光轴之间的区域，所述光电二极管阵列（8）位于样片表面法线30～60度的锥角内，所述会聚透镜（10）和光电探测器件（11）依次位于辅助激光器（7）的反射光束上，会聚透镜（10）的中部区域镀制吸光膜，吸光膜覆盖区域应大于辅助激光器输出光斑直径的2倍～5倍，处理组件包括计算机（15）。

2.根据权利要求1所述的一种薄膜及光学元件激光损伤阈值组合测试装置，其特征在于：所述光电探测器件（11）的空间位置在辅助激光器的发射光束与样片表面法线的平面内，且与辅助激光器的发射光束以样品表面法线为对称。

3.根据权利要求1所述的一种薄膜及光学元件激光损伤阈值组合测试装置，其特征在于：所述辅助激光器（7）偏离主光轴45度设置；所述光电二极管阵列（8）位于样片表面法线60度位置。

4.根据权利要求1所述的一种薄膜及光学元件激光损伤阈值组合测试装置，其特征在于：所述会聚透镜（10）上吸光膜覆盖区域应为辅助激光器输出光斑直径的2倍。

5.一种利用权利要求1所述装置的测试方法，其特征在于：包括下述步骤：

首先利用测试组件中辅助光源发出激光辐照在样品表面，当测试激光作用于样品表面并引起薄膜损伤后，CCD照相机（12）、光电二极管阵列（8）和光电探测器件（11）同时进行测试，测试结果送采用CCD摄像显微判别法、散射光强法和等离子体闪光法来判别不同类型薄膜样品是否发生损伤，样品是否损伤的判别标准是：摄像显微判别法、散射光强法和等离子体闪光法中只要有一项显示为样品损伤，就确定为样品发生了激光损伤。