[发明专利]一种压力传感型真空度测量装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种压力传感型真空度测量装置，属于精密测量技术领域。

背景技术

在工业测量中，经常遇到进行真空度测量的场合，但是目前真空度测量装置体积较大，且价值昂贵，使用步骤繁琐，限制了普通工业场合的应用。

发明内容

针对上述不足，本发明提供了一种压力传感型真空度测量装置，这种装置内部有固定气压，随空间真空度变化带动柔性橡胶变形将形变力传给与之相连的压力传感器，读出压力变化，通过计算即可得被测空间真空度值。

本发明通过以下技术实现：

一种压力传感型真空度测量装置，它包括一块圆形柔性橡胶板及一块圆形刚性密封板，两者固定在刚性密封圈上构成一个密闭空间，压力传感器的受力端与柔性橡胶板外侧连接且由刚性固定板将其外端固定在刚性密封圈上。

本发明的压力传感型真空度测量装置，主要由刚性密封圈，刚性密封板，柔性橡胶板，压力传感器及压力传感器固定装置刚性固定板组成，其特征为：该装置由一块圆形柔性橡胶板及一块圆形刚性密封板固定在刚性密封圈上构成一个密闭空间，压力传感器的受力端与柔性橡胶板外侧连接且由刚性固定板将其外端固定在刚性密封圈上，当测量某一密闭空间内的真空度时，将装置放置其中，在气压差的作用下，该装置的柔性橡胶板变形将形变力传给与之相连的压力传感器，从而测出形变压力，即可计算被测密闭空间的真空度。

本发明的优点是，装置体积小，价格便宜，使用方便，操作安全，特别适合在普通工业场合使用。

附图说明：

图1是该装置的纵剖面构造图；

图2是该装置的纵剖面平面图；

图中，1、压力传感器，2、刚性固定板，3、柔性橡胶板，4、刚性密封板，5、刚性密封圈。

具体实施方式

图1、图2为该装置的剖切图。该装置由圆形刚性密封板4和圆形柔性橡胶板3固定在刚性密封圈5上构成一个密闭空间，压力传感器1的受力端与柔性橡胶板3外侧连接且由锥台型刚性固定板2将其外端固定在刚性密封圈5上，当测量某一密闭空间的真空度时，该将装置放置其中，在气压的差作用下，该装置的柔性橡胶板3变形将形变力传给与之相连的压力传感器1，从而测出形变压力，即可计算被测密闭空间的真空度。