[发明专利]等离子体处理装置及等离子体处理装置的运转方法

权利要求书

1.一种等离子体处理装置，其具有输出干预处理容器内的等离子 体的高频的多个高频电源，由等离子体对上述处理容器内的被处理体 进行处理，为了变更装置的状态而使这些多个高频电源的输出功率阶 段性地变化，其特征在于，包括：

高频电源单元，其设置于每个高频电源，具有：高频电源、控制 该高频电源的输出的功率控制部、对在该高频电源反射的反射波的功 率值进行测量的反射波测量机构；

判断各高频电源的反射波的测量功率值是否为阈值以下的机构； 和

定时信号生成机构，对于使输出功率变化的一个高频电源，在另 一个高频电源的反射波的测量功率值变为阈值以下后，经过预先设定 的时间时向上述功率控制部供给用于使该一个高频电源的输出功率变 化的定时信号的机构。

2.如权利要求1所述的等离子体处理装置，其特征在于：

所述装置的状态的变更是等离子体的启动，使所述输出功率变化 是将输出功率增大一个等级。

3.如权利要求1或者2所述的等离子体处理装置，其特征在于：

所述定时信号，在另一个高频电源的反射波的测量功率值变为阈 值以下的条件和所述一个高频电源的反射波的测量功率值为阈值以下 的条件这两个条件成立后，经过了预先设定的时间时被生成。

4.如权利要求1或2所述的等离子体处理装置，其特征在于：

设置有信号传送路，其连接在各高频电源单元之间，用于在各高 频电源单元彼此之间直接进行包括反射波的测量功率值或者其测量功 率值为阈值以下的判断信号的反射波信息的传送，

向所述功率控制部供给所述定时信号的定时信号生成机构包括， 设置于各高频电源单元，根据从所述信号传送路传来的另一个高频电 源的反射波信息生成所述定时信号的定时信号生成机构。

5.如权利要求4所述的等离子体处理装置，其特征在于：

向所述功率控制部供给所述定时信号的定时信号生成机构包括， 判断自己的高频电源的反射波的测量功率值是否变为阈值以下的判断 机构；和根据该判断机构的判断结果和从所述信号传送路传来的另一 个高频电源的反射波信息生成所述定时信号的定时信号生成机构。

6.如权利要求4所述的等离子体处理装置，其特征在于：

判断高频电源的反射波的测量功率值是否在阈值以下的判断机 构，和生成所述定时信号的定时信号生成机构通过逻辑电路结合。

7.一种等离子体处理装置的运转方法，所述等离子体处理装置具 有输出干预处理容器内的等离子体的高频的多个高频电源，由等离子 体对所述处理容器内的被处理体进行处理，为了变更装置的状态而使 这些多个高频电源的输出功率阶段性地变化，其特征在于，包括：

对各高频电源的反射波的功率值进行测量的工序；

判断使输出功率变化的一个高频电源以外的另一个高频电源的反 射波的测量功率值是否为阈值以下的工序；

在判断为所述另一个高频电源的反射波的测量功率值变为阈值以 下后，经过预先设定的时间时使该一个高频电源的输出功率变化的工 序。

8.如权利要求7所述的等离子体处理装置的运转方法，其特征在 于：

所述装置的状态的变更是等离子体的启动，使所述输出功率变化 是将输出功率增大一个等级。

9.如权利要求7或者8所述的等离子体处理装置的运转方法，其 特征在于：

包括判断所述一个高频电源的反射波的测量功率值是否在阈值以 下的工序，

使所述一个高频电源的输出功率变化的工序，在所述另一个高频 电源的反射波的测量功率值变为阈值以下的条件和所述一个高频电源 的反射波的测量功率值为阈值以下的条件这两个条件成立后，经过了 预先设定的时间时被实施。