[发明专利]液滴排出装置的排出量评估方法

说明书

技术领域

本发明涉及液滴排出装置的排出量评估方法。 

背景技术

近年来，采用了液滴排出法的成膜技术备受注目。如果采用液滴排出法，则可以将包含膜的形成材料的微小的液状体配置于预期的位置。由此，能够形成微细的膜图形，与采用光刻法的情况相比图案形成容易化。并且，因为能够减少膜的形成材料的浪费，所以能够降低制造成本。 

液滴排出法中所使用的液滴排出头，具备例如在X方向上排列的多个排出单元。多个排出单元的各个，具备液状体的贮留部、喷嘴、对液状体进行加压从而将其从喷嘴压出的压电元件等。用这样的液滴排出头边在Y方向上扫描成膜面，边从排出单元使液状体排出而配置液状体。 

对于液滴排出头而言，重要的是使多个排出单元的液状体的排出量均匀。这是因为若在排出量上产生不匀则会在Y方向上产生膜厚的不匀。例如，在利用液滴排出法制造图像显示装置等的滤色器的情况下，若滤色器的膜厚产生不匀，则这将被观看为沿扫描方向的条纹(纹状不匀)，从而使显示质量受损。 

作为减小排出量的不匀的方法，提出有对各排出单元的排出量进行控制的方法(例如专利文献1)。在专利文献1中，限制液滴的排出量与设定值大不相同的排出单元的排出工作，减小排出量的不匀。在应用这样的技术下，正确地了解各排出单元的排出量极其重要。因为通过了解排出量相对于设定值有何种程度不同，可以良好地进行排出量的控制。 

作为排出量的评估方法之一，已知有根据所排出的液状体的形状而计 算体积的方法。在该方法中，首先，在检查用基板上利用液滴排出头配置(排出)液状体。而且，使包含于所配置的液状体中的溶剂、分散剂等液体成分蒸发，使包含于液状体中的固体成分成为固形体。然后，在平行于检查用基板的测量面上利用光干涉法等测量固形体的轮廓。该测量，通过使检查用基板与测量面的距离发生变化而在多个测量面上进行。 

在多个测量面的各个上，通过计算由固形体的轮廓所包围的面积，求取在该测量面上的固形体的剖面面积。由此，求取相对于到达固形体的底面的距离(高度)的固形体的剖面面积，并通过对剖面面积按高度进行积分而求出固形体的体积。因为所排出的液状体的组成是已知的，所以能够根据固形体的体积倒推出液状体的体积，从而能够评估排出量。 

【专利文献1】特开2003-159787号公报 

可是，由于以下的原因而难以利用该评估方法对排出量高精度且高效地进行评估。 

因为在该评估方法中在使液状体干燥了之后进行测量，所以需要例如8小时左右的干燥时间，从而无法高效地进行测量。虽然也可考虑为了缩短干燥时间而进行加热处理等，但是有可能由此产生工时增加、由于热所引起的液状体的变质等而评估精度下降等不良状况。 

并且，作为该评估方法中使评估精度提高的方法，可考虑使固形体的3维形状的测量精度提高的方法。例如，考虑可以使检查用基板与测量面的距离多样地变化而进行多点测量。可是，因为每次测量都要对于测量面在进行了光干涉仪的调整之后拍摄固形体的图像，所以在多点测量中需要极大的劳力，从而无法高效地进行测量。 

发明内容

本发明是鉴于前述情况而实现的，其目的之一在于提供可以高精度且高效地评估排出量的液滴排出装置的排出量评估方法。 

本发明的液滴排出装置的排出量评估方法，在排出液状体的液滴排出装置中评估所排出的液状体的排出量，所述液状体包含使溶质溶解于溶剂 中而成的溶液和使分散质分散于分散剂中而成的分散液的至少一方，该方法包括：排出工序，其在具有受液层和基层的试验片的前述受液层上，利用前述液滴排出装置排出前述液状体，所述受液层吸收前述液状体中所包含的成分之中的前述溶剂和前述分散剂的至少一方，所述基层与该受液层相接触地设置并且不吸收前述液状体中所包含的成分之中的、由前述受液层所吸收的吸收成分；以及评估工序，其对前述吸收成分在前述受液层上扩散而成的吸收部分的面积进行评估，并基于该评估结果评估前述液状体的排出量。