[发明专利]彩色滤光片及测试图案的制作方法有效
申请号: | 200910225000.0 | 申请日: | 2009-11-30 |
公开(公告)号: | CN102081253A | 公开(公告)日: | 2011-06-01 |
发明(设计)人: | 黃俊益 | 申请(专利权)人: | 华映视讯(吴江)有限公司;中华映管股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/1335 | 分类号: | G02F1/1335 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 孙长龙 |
地址: | 215217 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 彩色 滤光 测试 图案 制作方法 | ||
1.一种彩色滤光片,其特征在于,包括:
一黑矩阵图案,具有多个开口;以及
多个彩色滤光图案,各该彩色滤光图案具有一主体部以及一突出部,该主体部位于其中一该开口中,而该突出部连接于该主体部并覆盖于该黑矩阵图案上,其中各该彩色滤光图案的该突出部直接接触相邻的其中一该彩色滤光图案的该突出部,以在相邻的该些彩色滤光图案为不同材质时定义出一接触面,该接触面不与该黑矩阵图案被覆盖的顶表面平行。
2.如权利要求1所述的彩色滤光片,其特征在于,该黑矩阵图案包括多条横线以及多条纵线,该些横线以及该些纵线围出该些开口。
3.如权利要求2所述的彩色滤光片,其特征在于,
各该彩色滤光图案的该突出部覆盖于其中一条纵线上,或是其中一条横线上。
4.如权利要求1所述的彩色滤光片,其特征在于,该突出部包括多个突出图案。
5.如权利要求1所述的彩色滤光片,其特征在于,还包括一电极层,覆盖该黑矩阵图案以及该些彩色滤光图案,在相互接触的该些突出部上,该电极层为连续的。
6.如权利要求1所述的彩色滤光片,其特征在于,该些彩色滤光图案的膜厚实质上为1.2μm-2.0μm。
7.一种测试图案的制作方法,其特征在于,包括:
形成一黑矩阵图案,该黑矩阵图案具有等间距的多个开口;
于该黑矩阵图案上形成一第一光阻材料层;
以一第一光罩为罩幕,图案化该第一光阻材料层,该第一光罩具有多个第一光罩图案,对应于部分该些开口,其中该些第一光罩图案的宽度不同,以形成对应的多个第一测试图案;
于该黑矩阵图案以及该些第一测试图案上形成一第二光阻材料层;以及
以一第二光罩为罩幕,图案化该第二光阻材料层,该第二光罩具有多个对应于另一部份该些开口的第二光罩图案,该些第二光罩图案的宽度不同以形成相邻于该些第一测试图案的多个第二测试图案。
8.如权利要求7所述的测试图案的制作方法,其特征在于,该第一光阻材料层与该第二光阻材料层的材质不同。
9.如权利要求7所述的测试图案的制作方法,其特征在于,该第一光阻材料层为一红色光阻材料层、一蓝色光阻材料层或一绿色光阻材料层其中一者,而该第二光阻材料层为另一者。
10.如权利要求7所述的测试图案的制作方法,其特征在于,还包括调整该些第一光罩图案的宽度以及该些第二光罩图案的宽度,以使其中一该第一测试图案在该黑矩阵图案上直接接触其中一该第二测试图案。
11.如权利要求7所述的测试图案的制作方法,其特征在于,还包括调整图案化制程的制程条件,以使其中一该第一测试图案在该黑矩阵图案上直接接触其中一该第二测试图案以定义出一接触面,该接触面不与该黑矩阵图案被覆盖的顶表面平行。
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