[发明专利]三氯氢硅合成气气固分离装置

权利要求书

1.三氯氢硅合成气气固分离装置，包括分离容器以及设置在分离容器容腔内的滤芯(8)，在分离容器的壳体上设置有与其容腔相通的合成气入口(1)以及合成气出口(6)，其特征是：所述滤芯(8)采用金属烧结式滤芯。

2.如权利要求1所述的三氯氢硅合成气气固分离装置，其特征是：所述滤芯(8)由多根滤筒组成。

3.如权利要求2所述的三氯氢硅合成气气固分离装置，其特征是：所述合成气入口(1)位于滤芯(8)下方的分离容器壳体上，合成气出口(6)位于滤芯(8)上方的分离容器壳体上。

4.如权利要求1、2或3所述的三氯氢硅合成气气固分离装置，其特征是：在分离容器壳体上设置有与其容腔相通的反吹气入口(5)以及反吹气出口(9)。

5.如权利要求4所述的三氯氢硅合成气气固分离装置，其特征是：所述反吹气入口(5)设置在分离容器的顶部，反吹气出口(9)设置在分离容器的底部。

6.如权利要求4所述的三氯氢硅合成气气固分离装置，其特征是：从反吹气入口(5)通入到分离容器容腔内的气体采用氮气、氢气或惰性气体。

7.如权利要求4所述的三氯氢硅合成气气固分离装置，其特征是：所述分离容器包括位于顶部的封头(4)以及可拆卸连接于封头(4)下方的筒体(2)，在筒体(2)与封头(4)之间压接有管板(3)，滤芯(8)可拆卸连接在管板(3)上；合成气出口(6)与反吹气入口(5)设置在封头(4)上，合成气入口(1)与反吹气出口(9)设置在筒体(2)上。

8.如权利要求4所述的三氯氢硅合成气气固分离装置，其特征是：在封头(4)上设置有与分离容器容腔相通的压力表接口(7)，在压力表接口(7)上连接有压力表(10)。

9.如权利要求8所述的三氯氢硅合成气气固分离装置，其特征是：所述分离容器具有至少两个，每个分离容器的合成气入口(1)处连接有合成气入口管路(11)，每个分离容器的合成气入口管路(11)均连接到合成气总入口管路(12)，每个分离容器的合成气出口(6)处连接有合成气出口管路(17)，每个分离容器的合成气出口管路(17)均连接到合成气总出口管路(18)；每个分离容器的合成气入口管路(11)上设置有合成气入口自动控制阀门(13)，合成气出口管路(17)上设置有合成气出口自动控制阀门(19)。

10.如权利要求8所述的三氯氢硅合成气气固分离装置，其特征是：每个分离容器的反吹气入口(5)处连接有反吹气入口管路(14)，每个分离容器的反吹气入口管路(14)均连接到反吹气总入口管路(15)，每个分离容器的反吹气出口(9)处连接有反吹气出口管路(20)，每个分离容器的反吹气出口管路(20)均连接到反吹气总出口管路(21)；每个分离容器的反吹气入口管路(14)上设置有反吹气入口自动控制阀门(16)，反吹气出口管路(20)上设置有反吹气出口自动控制阀门(22)。