[发明专利]高占空比碲镉汞长波红外光电导面阵探测器

权利要求书

1.一种高占空比碲镉汞长波红外光电导面阵探测器，经阳极氧化处理的碲 镉汞材料(12)的带有阳极氧化层(11)的一面镀ZnS抗反膜(10)后通过环 氧树脂胶(9)与蓝宝石衬底(7)相连，其特征在于：所述的探测器的电极是 从蓝宝石衬底(7)的背面引出的，在所述的蓝宝石衬底(7)上芯片列阵所处 的相应位置用激光打出微孔列阵，通过电镀在微孔列阵中填满电镀金(8)，对 处理好的碲镉汞材料(12)光刻刻穿碲镉汞，制备出对应的面阵孔，通过阱伸 工艺将碲镉汞与电镀金(8)连在一起后，在蓝宝石衬底(7)背面的微孔列阵 上长芯片铟柱(5)，芯片铟柱(5)与电路板上的电路板铟柱(4)互连，将电 信号从探测器衬底的背面引出。