[发明专利]基于剪应力检测的十字叉结构石英微机械陀螺有效
| 申请号： | 200910226760.3 | 申请日： | 2009-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN101738184A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 吴学忠;李圣怡;谢立强;肖定邦;董培涛;王浩旭;满海鸥;牛正一;习翔 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科学技术大学 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;G01L1/16 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所 43008 | 代理人： | 周长清;陈晖 |
| 地址： | 410073 湖南省长沙市砚瓦池正街47*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 剪应力 检测 十字 结构 石英 微机 陀螺 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于剪应力检测的十字叉结构石英微机械陀螺，包括通过键合连接在一起的衬底(1)和陀螺总成，其特征在于：所述陀螺总成包括检测梁(3)、一根以上的驱动梁(4)、检测电极以及驱动电极，所述驱动梁(4)与检测梁(3)呈十字交叉状布置，所述驱动梁(4)的两端设有可动质量块，所述驱动电极装设于驱动梁(4)的外表面上，所述检测电极装设于检测梁(3)的外表面上；所述驱动梁(4)位于检测梁(3)的中部。
2.根据权利要求1所述的基于剪应力检测的十字叉结构石英微机械陀螺，其特征在于：所述检测梁(3)的两端与一支撑框架(2)相连，所述驱动梁(4)位于支撑框架(2)内。
3.根据权利要求2所述的基于剪应力检测的十字叉结构石英微机械陀螺，其特征在于：所述检测梁(3)上开设有一个以上的开孔(24)。
4.根据权利要求1所述的基于剪应力检测的十字叉结构石英微机械陀螺，其特征在于：所述检测梁(3)的两端分别与一支撑质量块(23)相连。
5.根据权利要求1或2或3或4所述的基于剪应力检测的十字叉结构石英微机械陀螺，其特征在于：所述检测梁(3)为一变截面的锥形梁。
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