[发明专利]双月阴极型上悬平侧辅栅控结构的平板显示器及其制作工艺

说明书

技术领域

本发明属于平板显示技术领域、真空科学与技术领域以及纳米科学与技术领域的相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作，特别涉及一种双月阴极型上悬平侧辅栅控结构的平板显示器及其制作工艺。

背景技术

碳纳米管是一种新型的冷阴极材料，不需要施加额外的能量，就能够在外加足够电场强度的作用下发射出大量电子；由于碳纳米管材料的这一非凡特性，使其能够作为一种优良的阴极材料来使用，并被有效应用到场致发射平板显示器中。场致发射平板显示器是最近几年中的新兴平板器件，具有许多优异特性，诸如：高图像质量、低制作成本、快响应速度、薄型化、宽工作温区等，几乎集成了现有各种显示器的优点，因此被公认为是下一代平板显示器件的理想市场产品。而碳纳米管材料的加盟，更加速了场致发射平板显示器的研究进展。在目前所研发的三极结构场致发射显示器中，对于碳纳米管阴极的制作工艺和制作结构，还没有一个令人满意的制作方案，不同研究人员的制作方法不一，但是都不能达到最佳效果；而对于栅极结构，不仅存在着对于栅极制作材料要求过于苛刻的不利之处，还对于栅极结构的制作工艺存在着过于复杂化等缺陷，这些都不利于场致发射平板显示器的研究进展；对于整体器件而言，普遍都存在着栅极工作电压偏高、栅极工作电流偏大等缺点，这明显不符合低压平板器件的原则，还需要进一步的研究和改进。此外，对于整体平板显示器件的制作，制作工艺简单、制作过程稳定可靠也是不可忽视的一个重要方面。

发明内容

本发明的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种成本低廉、制作工艺简单、制作过程稳定可靠的双月阴极型上悬平侧辅栅控结构的平板显示器及其制作工艺。

本发明的目的是这样实现的：

一种双月阴极型上悬平侧辅栅控结构的平板显示器，包括由阴极玻璃面板1、阳极玻璃面板20和玻璃边框16所构成的密封真空室；设置在阳极玻璃面板上的阳极底层18、阳极连线层23、阳极分隔层19以及制备在阳极底层上面的荧光粉层17；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的隔离支撑器22和消气剂21；其特征在于：

所述的双月阴极型上悬平侧辅栅控结构的基底材料为阴极玻璃面板；在阴极玻璃面板上印刷并烧结的绝缘浆料形成阴极阻挡层2；阴极阻挡层上面存在阴极底层3，阴极底层呈现条形形状；阴极底层的周围存在阴极连线层4，阴极连线层和阴极底层是相互连通的；阴极底层上面存在阴极提升层5，阴极提升层呈现圆柱型形状，其上下表面均为平面，下表面和阴极底层相接触；阴极提升层上面存在阴极增高层6，阴极增高层由两个半月型形状组成，并且相向排列，即两个半月型形状都是凸起部分面向外，凹陷部分面向内，两个半月型形状的向外凸起部分外边缘与阴极提升层上表面边缘相重合；阴极增高层上面存在阴极过渡层7，阴极过渡层布满阴极增高层的上表面，且和阴极增高层是相互连通的；阴极过渡层上面存在阴极牺牲层8，阴极牺牲层布满阴极过渡层的上表面，且和阴极过渡层是相互连通的；阴极底层上面印刷并烧结的绝缘浆料形成隔离一层9；隔离一层的高度高于阴极牺牲层的高度；隔离一层的上下表面均为平面，其下表面和阴极底层相接触；隔离一层中存在圆形电子孔，暴露出底部的部分阴极底层、阴极提升层、阴极增高层、阴极过渡层、阴极牺牲层，圆形电子孔的侧壁是垂直于阴极底层表面的；隔离一层上面存在平面栅极传导层10，平面栅极传导层布满隔离一层的上表面，其前端延伸到圆形电子孔中，呈现悬空状态；平面栅极传导层的周围存在栅极连线层11，栅极连线层和平面栅极传导层是相互连通的；平面栅极传导层上面印刷并烧结的绝缘浆料形成隔离二层12；隔离二层呈现圆环型形状，位于隔离一层中圆型电子孔的上方，隔离二层的上下表面均为平面，下表面要覆盖住平面栅极传导层的前端部分，隔离二层的内外侧壁均垂直于平面栅极传导层；隔离二层的外侧壁上存在垂直栅极传导层13，垂直栅极传导层布满隔离二层的外侧壁，并且和平面栅极传导层是相互连通的；隔离二层和隔离一层上面印刷并烧结的绝缘浆料形成隔离三层14，隔离三层覆盖平面栅极传导层、垂直栅极传导层和栅极连线层；碳纳米管15制备在阴极牺牲层的上面。所述的阴极底层为金属金、银、铜、锡、铟、铬、铅、铝、钼之一；阴极连线层为金属金、银、铜、锡、铟、铬、铅、铝、钼之一；阴极提升层为金属金、银、铜、锡、铟、铬、铅、铝、钼之一；阴极增高层为金属金、银、铜、锡、铟、铬、铅、铝、钼之一；阴极过渡层为金属铁、钴、镍之一；阴极牺牲层为金属铁、钴、镍之一；平面栅极传导层为金属金、银、铜、锡、铟、铬、铅、铝、钼之一；垂直栅极传导层为金属金、银、铜、锡、铟、铬、铅、铝、钼之一；平面栅极传导层的走向和阴极底层的走向是相互垂直的。