[发明专利]上悬侧栅控斜月型基底阴极结构的平板显示器及其制作工艺

说明书

技术领域

本发明属于真空科学与技术领域、纳米科学与技术领域以及平板显示技术领域的相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作，特别涉及到上悬侧栅控斜月型基底阴极结构的平板显示器及其制作工艺。

背景技术

显示器件的主要功能就是进行图像的完美逼真显示，从而达到还原物体本身的目的。平面显示器件在最近几年中得到了快速的发展，这得益于平板显示器得天独厚的优势，诸如：画面无闪烁、重量轻、外形美观、大面积性、功耗低、工作温区广、环保耐用等。场致发射显示器则是平板显示器件中的新型器件，由于它的阴极材料在不需要额外能量的情况下，仅仅依靠外加电压的强制作用就可以以“场致发射”的模式发射出大量电子，因此而命名。自碳纳米管材料被发现并被应用于场致发射显示器的阴极以来，对于碳纳米管阴极场致发射显示器的研究更得到了飞速的发展。

但是，对于目前的三极管结构的场致发射平板显示器而言，由于栅极结构的加入，从而产生了喜忧相半的结局。虽然随着栅极的加入，能够使得整体器件的工作电压有所减低，符合低压低成本器件的要求，但是，栅极结构加入所带来的制作工艺复杂性，制作材料要求的高标准性等副作用也不可忽视。就目前所研发的平板器件，普遍都存在着栅极工作电压过高、器件制作成本过高等不利因素，这在一定程度上阻碍了平板显示器件的发展，还需要投入大量的时间和财力加以解决，以促进平板显示器件的健康发展。当然，对于整体平板显示器件的制作，制作工艺简单、制作过程稳定可靠也是不可忽视的一个重要方面。

发明内容

本发明的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种制作过程稳定可靠、制作工艺简单、成本低廉的上悬侧栅控斜月型基底阴极结构的平板显示器及其制作工艺。

本发明的目的是这样实现的：

一种上悬侧栅控斜月型基底阴极结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板、阴极玻璃面板和四周玻璃边框所构成的密封真空腔；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件；设置在阳极玻璃面板上的阳极导电层、阳极引线层、阳极隔离层以及制备在阳极导电层上面的荧光粉层；

在阴极玻璃面板上设置有上悬侧栅控斜月型基底阴极结构；所述的上悬侧栅控斜月型基底阴极结构的基底材料为阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上印刷并烧结的绝缘浆料形成间隔层；间隔层上面存在阴极电极层；阴极电极层周围存在阴极引线层，阴极引线层和阴极电极层是相互连通的；阴极电极层上面存在阴极增高层，阴极增高层呈现半圆型形状，其下表面为平面，和阴极电极层相互接触，其上表面为半圆型，在上表面的顶部存在一个向内的凹陷窝，凹陷窝呈现斜月型；阴极增高层上表面凹陷窝上面存在阴极度越层，阴极度越层布满阴极增高层上表面凹陷窝的表面；阴极度越层上面存在阴极牺牲层，阴极牺牲层呈现圆环型形状位于阴极度越层的表面，其圆环型形状的上边缘和阴极度越层的上边缘平齐，在阴极度越层的底部是没有阴极牺牲层的；阴极增高层上面印刷并烧结的绝缘浆料形成栅阴分隔一层，栅阴分隔一层的下表面覆盖在阴极增高层的上表面，其上表面呈现与阴极增高层相同的半圆型形状，栅阴分隔一层不能覆盖阴极度越层和阴极牺牲层；栅阴分隔一层上面存在栅极电极层，栅极电极层覆盖在栅阴分隔一层的上表面，其前端延伸到阴极增高层上表面凹陷窝的上端，呈现悬空态；栅极电极层周围存在栅极引线层，栅极引线层和栅极电极层是相互连通的；栅极电极层和栅极引线层上面印刷并烧结的绝缘浆料形成栅阴分隔二层，栅阴分隔二层要覆盖栅极电极层以及栅极引线层；碳纳米管制备在阴极牺牲层的上面。

所述的阴极电极层为金属金、银、铝、钼、铬、铅、锡、铟之一；阴极增高层为金属金、银、铝、钼、铬、铅、锡、铟之一；阴极引线层为金属金、银、铝、钼、铬、铅、锡、铟之一；阴极度越层为金属铁、钴、镍之一；阴极牺牲层为金属铁、钴、镍之一；栅极电极层为金属金、银、铝、钼、铬、铅、锡、铟之一；栅极引线层为金属金、银、铝、钼、铬、铅、锡、铟之一。

所述的上悬侧栅控斜月型基底阴极结构包括阴极面板、间隔层、阴极电极层、阴极引线层、阴极增高层、阴极度越层、阴极牺牲层、栅阴分隔一层、栅极电极层、栅极引线层、栅阴分隔二层和碳纳米管部分。

阴极玻璃面板采用钠钙玻璃或硼硅玻璃。

一种所述的上悬侧栅控斜月型基底阴极结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其制作步骤如下：

1)阴极玻璃面板的制作：对整体平板玻璃进行切割，制作出阴极玻璃面板；