[发明专利]同八字型斜高栅阴控结构的平板显示器及其制作工艺

说明书

技术领域

本发明属于平板显示技术领域、纳米科学与技术领域和真空科学与技术领 域的相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及到碳纳 米管阴极的平板场致发射显示器的器件制作，特别涉及到同八字型斜高栅阴控 结构的平板显示器及其制作工艺。

背景技术

由于CRT器件自身具有的缺陷，诸如体积庞大、过于笨重、存在X射线辐 射等，给人们的日常应用带来了诸多不便。而随着平板显示技术的发展，新兴 的平板显示器件已经大量出现在显示器件市场，同传统的CRT器件展开了激烈 的市场产品竞争。场致发射显示器，是一种新型的平板显示器件，它是利用阴 极材料以场致发射模式进行电子发射、电子束轰击荧光粉层而发出可见光的一 种自发光平面器件。鉴于其与CRT器件的发光原理相同，因此保留了CRT器件 高图像质量的优越之处，从而成为新兴器件中的佼佼者。

利用碳纳米管作为阴极材料的场致发射平板显示器，在实用性上一般艺三 极结构为主。但是对于目前所研发的器件，受到栅极的制作工艺、制作材料以 及制作结构等诸多因素的制约，还无法将栅极的本质功能完全发挥出来。由于 栅极的加入，带来了制作工艺的复杂性，也使得器件的工作性能不尽人意。具 体可表现为栅极电压过高、栅极电流过大、器件制作成本偏高等等。此外，碳 纳米管阴极材料的制作工艺以及制作工序也在一定程度上影响着整体器件的显 示性能，还没有一个比较完美的解决方案，还需要进行大量的研究和开发。对 于整体平板显示器件的制作，制作过程稳定可靠、成本低廉、制作工艺简单也 是不可忽视的一个重要方面。

发明内容

本发明的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种 制作过程稳定可靠、制作工艺简单、成本低廉的同八字型斜高栅阴控结构的平 板显示器及其制作工艺。

本发明的目的是这样实现的：

一种同八字型斜高栅阴控结构的平板显示器，包括由阳极玻璃面板、阴极 玻璃面板和四周玻璃边框所构成的密封真空腔；位于阴极玻璃面板和阳极玻璃 面板之间的支撑墙结构以及消气剂附属元件；设置在阳极玻璃面板上的阳极电 极层、阳极引线层、黑色分隔层以及制备在阳极电极层上面的荧光粉层。其特 征在于：

在阴极玻璃面板上设置有同八字型斜高栅阴控结构；所述的同八字型斜高 栅阴控结构的衬底材料为阴极玻璃面板；阴极玻璃面板上印刷并烧结的绝缘浆 料形成屏蔽层；屏蔽层上面存在阴极传导层；阴极传导层周围存在阴极引线层， 阴极引线层和阴极传导层是相互连通的；阴极传导层上面存在阴极过渡层，阴 极过渡层呈现矩形形状，并且和阴极传导层是相互连通的；阴极过渡层上面存 在阴极牺牲层，阴极牺牲层为两个互不连接的方型形状金属层；阴极牺牲层的 两个方型形状金属层分别位于矩形形状阴极过渡层长边中心线的两侧，并且不 得和矩形形状阴极过渡层的边缘重合，使得暴露的阴极过渡层呈现数字8型形 状；阴极传导层上面印刷并烧结的绝缘浆料形成绝缘增高层；绝缘增高层的上 下表面均为平面，下表面和阴极传导层相接触；绝缘增高层中存在矩形通道孔， 暴露出下面的阴极过渡层和阴极牺牲层；绝缘增高层中的矩形通道孔的内侧壁 是垂直于阴极过渡层表面的；绝缘增高层中的矩形通道孔的内侧壁与上表面交 界处存在一个向内凹陷的斜坡面；阴极牺牲层上面印刷并烧结的绝缘浆料形成 牺牲增高层；牺牲增高层要完全覆盖住阴极牺牲层，其高度与阴极增高层中矩 形通道孔内侧壁与斜坡面交界处的高度相同；牺牲增高层的上表面存在孤立栅 极层，孤立栅极层不连接电极；绝缘增高层矩形通道孔内侧壁与上表面交界处 斜坡面上存在栅极电极层，栅极电极层要布满斜坡面的表面；栅极电极层和孤 立栅极层是互不连通的；绝缘增高层上表面存在栅极引线层，栅极引线层和栅 极电极层是相互连通的；绝缘增高层上和栅极电极层上面印刷并烧结的绝缘浆 料形成栅极覆盖层，栅极覆盖层要覆盖栅极电极层和栅极引线层；碳纳米管制 备在暴露的阴极过渡层上面。

所述的阴极传导层为金属金、银、铜、铝、钼、铟、锡、铅、铬之一；阴 极引线层为金属金、银、铜、铝、钼、铟、锡、铅、铬之一；阴极过渡层为金 属铁、钴、镍之一；阴极牺牲层为金属金、银、铜、铝、钼、铟、锡、铅、铬 之一；孤立栅极层为金属金、银、铜、铝、钼、铟、锡、铅、铬之一；栅极电 极层为金属金、银、铜、铝、钼、铟、锡、铅、铬之一；栅极引线层为金属金、 银、铜、铝、钼、铟、锡、铅、铬之一；栅极电极层的走向和阴极传导层的走 向是相互垂直的。

阴极玻璃面板采用钠钙玻璃或硼硅玻璃。