[发明专利]ICP光源功率稳定电路无效
| 申请号： | 200910232137.9 | 申请日： | 2009-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN101707842A | 公开（公告）日： | 2010-05-12 |
| 发明（设计）人： | 刘召贵;张树龙;沈鹏飞;夏义峰 | 申请（专利权）人： | 江苏天瑞仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | H05B41/24 | 分类号： | H05B41/24;H05B41/36 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 215300 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | icp 光源 功率 稳定 电路 | ||
【权利要求书】：
1.一种ICP光源功率稳定电路，包括高频信号源、功率推动电路、功率放大电路、输出匹配电路和工作线圈，其特征在于：其还包括一鉴相反馈电路和一自动增益衰减电路，所述鉴相反馈电路与自动增益衰减电路连接，所述鉴相反馈电路、自动增益衰减电路位于所述功率推动电路与输出匹配电路之间，用于将所述输出匹配电路的信号反馈给所述功率推动电路。
2.根据权利要求1所述的ICP光源功率稳定电路，其特征在于：所述鉴相反馈电路包括一感应器(L08)和一耦合电容(C23)，感应器(L08)通过电磁感应得到的是反映功率输出的电流信号，耦合电容(C23)与输入信号连接得到反映功率输出的电压信号，所得电流信号、电压信号通过一分压耦合电路和一整流电路后向外输出。
3.根据权利要求1所述的ICP光源功率稳定电路，其特征在于：所述自动增益衰减电路包括一数模转换器(DAC)和一场效应管(Q7)，所述数模转换器(DAC)的输出端通过一负反馈放大电路与所述场效应管(Q7)的栅极连接。
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