[发明专利]活塞式高精度微位移传感器及其检测方法

权利要求书

1.一种活塞式高精度微位移传感器，其特征在于：包括气缸缸体(105)、连接法兰(103)、微行程管(110)；其中气缸缸体(105)被活塞(107)分成气体装载腔(106)和液体装载腔(108)两个腔；连接法兰(103)位于气体装载腔(106)一侧，并通过气缸活塞杆(104)与活塞(107)相连；液体装载腔(108)经过液体缓冲器(109)与微行程管(110)一端相连通，气体装载腔(106)与微行程管(110)另一端相连通；微行程管(110)内装有电阻丝(112)，该电阻丝(112)与一电源形成检测电路。

2.根据权利要求1所述的活塞式高精度微位移传感器，其特征在于：所述电阻丝(112)两端并联有行程管液位/电阻转换装置(114)，行程管液位/电阻转换装置(114)与微位移显示装置(113)相连。

3.利用权利要求1所述活塞式高精度微位移传感器的微位移检测方法，其特征在于包括以下过程：

(a)、把气缸缸体(105)固定，连接法兰(103)与待测微运动部件连接，形成一个微位移可测量的检测系统；

(b)、待测微运动部件发生微小位移时通过活塞杆(104)推动活塞(107)在气缸缸体内运动；

(c)、如果活塞(107)向液体装载腔(108)一侧运动，则液体通过液体缓冲器(109)流入微行程管(110)中，微行程管中的空气导入气体装载腔(106)；如果活塞(107)向气体装载腔(106)一侧运动，则微行程管中的液体通过液体缓冲器(109)流入液体装载腔(108)，气体装载腔(106)中的空气导入微行程管；

(d)、活塞(107)作用下的液体在微行程管(110)中移动导致电阻丝(112)的阻值变化，检测电阻丝(112)的阻值大小实现对微位移信息的检测。

4.根据权利要求3所述微位移检测方法，其特征在于还包括以下过程：

利用行程管液位/电阻转换装置(114)采集电阻丝(112)两端电压信号，并转化为对应的微位移信息，并通过微位移显示装置(113)显示出数值。