[发明专利]一种表面增强拉曼用大面积金属纳米结构衬底及其制备方法

权利要求书

1.一种表面增强拉曼用大面积金属纳米结构衬底，其特征在于，它由不同相合金材料 组成的纳米级结构的衬底和沉积在衬底上的纳米级厚度的金属材料组成，其中所述的不同相 合金材料为铝钛碳合金；该铝钛碳合金由64at％(原子百分比)的三氧化二铝和36at％(原 子百分比)的碳化钛组成；所述的沉积在衬底上的纳米级厚度的金属材料为银或金。

2.根据权利要求1所述的表面增强拉曼用大面积金属纳米结构衬底，其特征在于，所 述铝钛碳合金的粒径为小于300纳米的铝钛碳合金。

3.根据权利要求1所述的表面增强拉曼用大面积金属纳米结构衬底，其特征在于，沉 积在衬底上的银或金的厚度为10至100纳米。

4.一种制备权利要求1所述的表面增强拉曼用大面积金属纳米结构衬底的方法，其特 征在于包括以下步骤：

(1)选择不同相组成的合金材料作为原始模板；

(2)根据合金材料的硬度不同，利用选择性等离子刻蚀法，刻蚀出纳米级结构的衬底， 备用；

(3)取步骤(2)制备得到的纳米级结构的衬底，通过离子束溅射的方法，在纳米级结构的 衬底上沉积纳米级厚度的金属材料，即得到表面增强拉曼用大面积金属纳米结构衬底。

5.根据权利要求4所述的表面增强拉曼用大面积金属纳米结构衬底的方法，

其特征在于，步骤(1)中所用的原始模板由64at％的三氧化二铝和36at％的碳化钛组成的铝钛 碳合金。

6.根据权利要求4所述的表面增强拉曼用大面积金属纳米结构衬底的方法，其特征在 于，步骤(2)所述的选择性等离子刻蚀法，通入流量比率为2∶1的氩气和乙烯的混合气体，利 用射频辉光放电产生等离子体，刻蚀过程中衬底倾斜角度为65°，来刻蚀衬底表面。

7.一种拉曼探测装置，它包括一个激发光源，一个探测散射光的探测器和一个权利要 求1所述的表面增强拉曼用大面积金属纳米结构衬底。