[发明专利]一种微小尘埃的测量方法

权利要求书

1.一种微小尘埃的测量方法，其特征在于包括下列步骤：

步骤一、将粘性材料溶于有机溶剂中，配成0.01g/ml～0.1g/ml的溶液；

步骤二、将步骤一所制得的溶液均匀涂敷在石英晶片表面，得到用于测量微小尘埃的粘性膜石英晶片；

步骤三、将步骤二中制得的粘性膜石英晶片放在温度50℃～80℃，湿度10％～30％的恒温恒湿箱中处理40～60小时，得到处理好的粘性膜石英晶片；

步骤四、将处理好的粘性膜石英晶片安装到粘性石英晶体微量天平(SQCM)的探头中，再将所述探头放入真空室内，抽真空，使真空度小于10^-3Pa；

步骤五、用晶体阻抗计测量粘性膜石英晶片上无待测物情况下，即空载时，所述粘性石英晶体微量天平的频率；

步骤六、打开真空环境中的扬尘装置，用晶体阻抗计测量所述粘性石英晶体微量天平的频率，与步骤五中测得的粘性膜石英晶片空载时粘性石英晶体微量天平的频率相比较，得到粘性石英晶体微量天平的频率变化，根据频率变化计算出沉积微小尘埃的质量，计算公式为：Δm＝-K×Δf，K是粘性材料的粘度系数，Δf是粘性石英晶体微量天平的频率变化量。

2.根据权利要求1所述的一种微小尘埃的测量方法，其特征在于：所述步骤一中所述的粘性膜材料要求粘结力大于一定数值，这一数值根据实验确定，具体的确定方法是：将粘性膜材料涂敷在石英晶体微量天平石英晶片表面，然后沉积微小尘埃，只有测试频率出现下降现象，就认为粘性膜材料的粘结力足够，符合使用要求，而且要求粘性膜材料质损小于1％，可凝挥发物小于0.1％，所述粘性材料包括但不限于：空间润滑油脂，真空密封油脂。

3.根据权利要求1所述的一种微小尘埃的测量方法，其特征在于：所述步骤二中要求涂敷粘性膜的厚度使得粘性石英晶体微量天平频率改变量在10000Hz～20000Hz；