[发明专利]一种微波同轴源原子氧地面模拟设备

权利要求书

1.一种同轴微波源原子氧地面模拟设备，其特征在于：包括微波源(1)，波导及同轴转换系统(2)，供氧系统(3)，放电腔(4)，磁体(5)，中性化板(6)，试样架(7)，积分球(8)，测试室(9)；其中微波源与波导及同轴转换系统相连，波导及同轴转换系统(2)将微波源(1)产生的能量传输放电腔中；供氧系统与放电室相连，将放电腔(4)中的氧分子离解为高密度氧等离子体；经中性化板(5)上的负偏压加速，并得到电子，形成具有3～8eV的原子氧束，辐照到试样架(6)的试样上。

2.根据权利要求1所述的一种同轴微波源原子氧地面模拟设备，其特征在于：产生的原子氧束能量为3～8eV。

3.根据权利要求1所述的一种同轴微波源原子氧地面模拟设备，其特征在于：放电腔产生的氧等离子体密度达到10¹²～10¹³cm^-3，经中性化后，原子氧通量密度最大达到3×10¹⁶atoms/cm²·s。

4.根据权利要求1所述的一种同轴微波源原子氧地面模拟设备，其特征在于：在测试室(9)中放置了积分球，用于在真空条件下，对试样的反射率进行原位测量。

5.根据权利要求1所述的一种同轴微波源原子氧地面模拟设备，其特征在于：所述的试样架(7)上有4个试样安装位置，能同时对4个试样进行原子氧作用。