[发明专利]气体传感气室无效

专利信息
申请号: 200910236387.X 申请日: 2009-10-21
公开(公告)号: CN102042958A 公开(公告)日: 2011-05-04
发明(设计)人: 鞠昱;王欣;孙可;袁海庆;谢亮;祝宁华 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所
主分类号: G01N21/17 分类号: G01N21/17;G01N21/01
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 汤保平
地址: 100083 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 气体 传感
【权利要求书】:

1.一种气体传感气室,包括:

一圆筒形气腔,其中间段镂空,在圆柱的壁面形成三个矩形开口;

一前盖,该前盖为圆盘形状,该前盖盖合于圆柱套型气腔的一端;

一后盖,该后盖为圆盘形状,该后盖盖合于圆筒形气腔的另一端。

2.根据权利要求1所述的气体传感气室,其中该圆筒形气腔的内径为2-3厘米,腔壁厚为0.5-1厘米。

3.根据权利要求1所述的气体传感气室,其中在该圆筒形气腔两端的壁面上均匀分布有多个螺孔。

4.根据权利要求1所述的气体传感气室,其中该圆盘形状的前盖和后盖的外形为两个薄形圆盘相叠置,其小圆直径与圆筒形气腔两端面上的孔径相同,大圆直径与圆筒形气腔的外径相同。

5.根据权利要求1或4所述的气体传感气室,其中前盖大圆的边缘处与圆筒形气腔两端的螺孔对应开有多个螺口。

6.根据权利要求1或4所述的气体传感气室,其中前盖大圆一侧的中心安装有一法兰盘,小圆一侧的中心安装有一前套筒,该前套筒用于固定准直透镜。

7.根据权利要求1或4所述的气体传感气室,其中后盖大圆的边缘处与圆筒形气腔两端的螺孔对应开有多个螺口。

8.根据权利要求1或4所述的气体传感气室,其中后盖小圆一侧的中心固定一后套筒。

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