[发明专利]气体传感气室无效
申请号: | 200910236387.X | 申请日: | 2009-10-21 |
公开(公告)号: | CN102042958A | 公开(公告)日: | 2011-05-04 |
发明(设计)人: | 鞠昱;王欣;孙可;袁海庆;谢亮;祝宁华 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | G01N21/17 | 分类号: | G01N21/17;G01N21/01 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 汤保平 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 气体 传感 | ||
1.一种气体传感气室,包括:
一圆筒形气腔,其中间段镂空,在圆柱的壁面形成三个矩形开口;
一前盖,该前盖为圆盘形状,该前盖盖合于圆柱套型气腔的一端;
一后盖,该后盖为圆盘形状,该后盖盖合于圆筒形气腔的另一端。
2.根据权利要求1所述的气体传感气室,其中该圆筒形气腔的内径为2-3厘米,腔壁厚为0.5-1厘米。
3.根据权利要求1所述的气体传感气室,其中在该圆筒形气腔两端的壁面上均匀分布有多个螺孔。
4.根据权利要求1所述的气体传感气室,其中该圆盘形状的前盖和后盖的外形为两个薄形圆盘相叠置,其小圆直径与圆筒形气腔两端面上的孔径相同,大圆直径与圆筒形气腔的外径相同。
5.根据权利要求1或4所述的气体传感气室,其中前盖大圆的边缘处与圆筒形气腔两端的螺孔对应开有多个螺口。
6.根据权利要求1或4所述的气体传感气室,其中前盖大圆一侧的中心安装有一法兰盘,小圆一侧的中心安装有一前套筒,该前套筒用于固定准直透镜。
7.根据权利要求1或4所述的气体传感气室,其中后盖大圆的边缘处与圆筒形气腔两端的螺孔对应开有多个螺口。
8.根据权利要求1或4所述的气体传感气室,其中后盖小圆一侧的中心固定一后套筒。
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