[发明专利]一种制备掺铝氧化锌透明导电薄膜的装置及方法

权利要求书

1.一种制备掺铝氧化锌透明导电薄膜的大气开放式MOCVD装置，其特征在于：

包括有第一截止气阀(2A)、第二截止气阀(2B)、A管道(21)、B管道(22)、C管道(23)、D管道(24)、E管道(25)、F管道(26)、G管道(27)、氮气瓶(1)、第一流量计(3A)、第二流量计(3B)、分子筛(4)、气化室(5)、第一加热带(6A)、第二加热带(6B)、第三加热带(6C)、第一喷嘴(7A)、第二喷嘴(7B)、基片台(9)、加热器(10)和烧瓶(11)；

基片台(9)上放置基片(8)；

烧瓶(11)安装在加热器(10)上，加热器(10)能够为烧瓶(11)内放置的蒸馏水提供80℃～100℃的温度环境；

第一加热带(6A)缠绕在C管道(23)的外壁和气化室(5)的外壁，第一加热带(6A)能够为C管道(23)和气化室(5)内部的介质提供105℃～115℃的温度环境；

第二加热带(6B)缠绕在D管道(24)的外壁，第二加热带(6B)能够为D管道(24)内部的介质提供105℃～150℃的温度环境；

第三加热带(6C)缠绕在E管道(25)的外壁，第三加热带(6C)能够为E管道(25)内部的介质提供80℃～100℃的温度环境；

氮气瓶(1)、A管道(21)、第一截止气阀(2A)和分子筛(4)构成载气源；A管道(21)连接在氮气瓶(1)的输出口与分子筛(4)的入气口之间，且A管道(21)上安装有第一截止气阀(2A)；

B管道(22)、第一流量计(3A)、C管道(23)、第一加热带(6A)、气化室(5)、第二截止气阀(2B)、第二加热带(6B)和D管道(24)构成锌源气路；B管道(22)连接在分子筛(4)的一出气口与第一流量计(3A)的入气口之间，C管道(23)连接在第一流量计(3A)的出气口与气化室(5)的入气口之间，D管道(24)连接在气化室(5)的出气口与第一喷嘴(7A)之间，且D管道(24)上安装有第二截止气阀(2B)；

G管道(27)、第二流量计(3B)、F管道(26)、加热器(10)、烧瓶(11)、第三加热带(6C)和E管道(25)构成氧源气路；G管道(27)连接在分子筛(4)的另一出气口与第二流量计(3B)的入气口之间，F管道(26)连接在第二流量计(3B)的出气口与烧瓶(11)的一瓶口之间，E管道(25)连接在烧瓶(11)的另一瓶口与第二喷嘴(7B)之间。