[发明专利]分类储存纳米碳管的方法及组装纳米碳管的方法有效
申请号: | 200910236921.7 | 申请日: | 2009-10-27 |
公开(公告)号: | CN101704508A | 公开(公告)日: | 2010-05-12 |
发明(设计)人: | 宋学锋;俞大鹏 | 申请(专利权)人: | 北京大学 |
主分类号: | B82B3/00 | 分类号: | B82B3/00 |
代理公司: | 北京市商泰律师事务所 11255 | 代理人: | 麻吉凤;毛燕生 |
地址: | 100871 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 分类 储存 纳米 方法 组装 | ||
1.一种分类储存纳米碳管的方法,其特征在于,包括如下步骤:
分类步骤,将平贴衬底生长的纳米碳管切割为多个纳米碳 管子段,并把截自相同纳米碳管的子段分为一类;
聚合物薄膜覆盖步骤,以聚合物薄膜覆盖所述衬底上分类 的纳米碳管子段;
位置标记步骤,在所述聚合物薄膜上制作光学显微镜下可 见的标记图案,所述标记图案用于唯一确定所述每一纳米碳管 子段的位置,包括标记图案将所述聚合物薄膜划分为多个聚合 物膜片,所述聚合物膜片的形状一一对应于所承载纳米碳管子 段的位置;
衬底溶解步骤,用溶液溶解掉所述衬底或衬底表层,将载 有所述分类的纳米碳管子段的所述聚合物薄膜捞到中空的框架 上,获取悬空存储所述分类的纳米碳管子段的聚合物薄膜。
2.根据权利要求1所述的分类储存纳米碳管的方法,其特征在于, 所述位置标记步骤中,所述每一承载纳米碳管子段的聚合物膜 片通过邮票式虚边与所述聚合物薄膜相连接。
3.根据权利要求2所述的分类储存纳米碳管的方法,其特征在于, 所述每一聚合物膜片上设置有装配孔。
4.根据权利要求3所述的分类储存纳米碳管的方法,其特征在于, 所述聚合物薄膜为聚甲基丙烯酸甲酯薄膜。
5.根据权利要求4所述的分类储存纳米碳管的方法,其特征在于, 所述分类步骤进一步包括:
刻蚀子步骤,用经过电子束曝光和显影的带有图案的聚甲 基丙烯酸甲酯膜作掩模,用氧等离子体把纳米碳管刻蚀为所述 多个纳米碳管子段;
掩模溶掉子步骤,用丙酮浸泡,以溶掉所述多个纳米碳管 子段的聚甲基丙烯酸甲酯掩模。
6.根据权利要求5所述的分类储存纳米碳管的方法,其特征在于, 所述分类步骤中:
所述衬底为带有二氧化硅表层且带有定位标记的硅片;在 所述衬底溶解步骤中,所述溶液为氢氟酸溶液。
7.一种组装纳米碳管的方法,其特征在于,通过权利要求1至7 所述的分类储存纳米碳管的方法获取悬空存储所述分类的纳 米管子段的聚合物薄膜后,进一步包括如下步骤:
组装步骤,在光学显微镜下,选择包括所需纳米碳管子段 的聚合物膜片,将该膜片从所述聚合物薄膜上摘下,按所需位 置和方向将载有所述纳米碳管子段的聚合物膜片置于目标衬 底上;
选择溶解聚合物膜片步骤,组装完成后,选择保留或者溶 解掉所述载有纳米碳管子段的聚合物膜片。
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