[发明专利]对砷化镓太阳电池帽层进行选择性腐蚀的化学腐蚀液无效
| 申请号： | 200910237097.7 | 申请日： | 2009-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN102051179A | 公开（公告）日： | 2011-05-11 |
| 发明（设计）人： | 刘雯;李越强;王晓东;陈燕凌;杨富华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | C09K13/00 | 分类号： | C09K13/00;H01L31/18 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 砷化镓 太阳电池 进行 选择性 腐蚀 化学 | ||
【权利要求书】：
1.一种对砷化镓太阳电池帽层进行选择性腐蚀的化学腐蚀液，其特征在于，该化学腐蚀液的配比为1g固体柠檬酸与3～4ml的双氧水，实现了对Al组分为0.8～0.9的砷化镓太阳电池帽层Al0.8～0.9GaAs/GaAs的选择性腐蚀。
2.根据权利要求1所述的对砷化镓太阳电池帽层进行选择性腐蚀的化学腐蚀液，其特征在于，所述1g固体柠檬酸在与3～4ml的双氧水混合之前，先将该1g固体柠檬酸充分溶解于65～80ml的去离子水中。
3.根据权利要求2所述的对砷化镓太阳电池帽层进行选择性腐蚀的化学腐蚀液，其特征在于，所述将该1g固体柠檬酸充分溶解于65～80ml的去离子水中之后进一步包括：用氨水调节柠檬酸水溶液的PH值在6～9之间。
4.根据权利要求1所述的对砷化镓太阳电池帽层进行选择性腐蚀的化学腐蚀液，其特征在于，所述固体柠檬酸纯度为优级纯，所述双氧水的浓度为30％。
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