[发明专利]静电振镜及其制作方法

权利要求书

1.一种静电振镜，由下至上包括衬底、驱动层、振镜层，其特 征在于，

所述衬底至少表面绝缘；

所述驱动层包括：驱动电极、着陆电极、键合点以及导线，所述 驱动电极用于提供驱动电压以及外部管脚的连接，以振镜的中心线为 对称线设置于所述中心线两侧，用于控制振镜一个维度的振动；所述 着陆电极两两以所述中心线为对称线设置于所述中心线两侧，并通过 键合与所述振镜层相连，使得所述着陆电极与所述振镜层的悬臂梁电 位相同；

所述振镜层包括：振镜、支架以及悬臂梁，所述振镜两端与所述 悬臂梁连接，所述支架固定于所述衬底上，所述悬臂梁与所述支架连 接，所述悬臂梁为鱼骨形结构，具有末端可接触到所述着陆电极的多 根不同长度的齿状子梁，可允许连接的所述振镜产生扭动。

2.如权利要求1所述的静电振镜，其特征在于，所述振镜层至 少包括相对于所述振镜对称设置的两个悬臂梁。

3.如权利要求2所述的静电振镜，其特征在于，所述两个悬臂 梁的主梁连线与所述振镜的中心线重合，子梁与所述主梁垂直。

4.如权利要求2所述的静电振镜，其特征在于，所述两个悬臂 梁的主梁连线与所述振镜的中心线重合，子梁与所述主梁垂直，且所 述子梁末端为Y形结构。

5.如权利要求2所述的静电振镜，其特征在于，所述两个悬臂 梁的主梁连线与所述振镜的中心线重合，子梁与所述主梁保持一定倾 斜角度。

6.如权利要求2所述的静电振镜，其特征在于，所述两个悬臂 梁的主梁连线与所述振镜的中心线重合，子梁为与所述主梁垂直或倾 斜一定角度的折叠结构。

7.一种静电振镜的制作方法，该方法包括步骤：

S1.制作至少表面绝缘的衬底：

S2.在所述衬底上沿所述衬底厚度方向制作掩膜，并使用表面薄 膜工艺将导电材料制成驱动层；

S3.去除掩膜，并在制好所述驱动层的衬底上制作振镜层牺牲 层；

S4.使用表面薄膜工艺将导电材料制成振镜层，并使用掩膜，对 所述振镜层进行结构成型刻蚀，使其形成设定形状；

S5.去除所述牺牲层以及掩膜；

其中，步骤S2中的驱动层包括：驱动电极、着陆电极、键合点 以及导线，所述驱动电极用于提供驱动电压以及外部管脚的连接，以 振镜的中心线为对称线设置于所述中心线两侧，用于控制振镜一个维 度的振动；所述着陆电极两两以所述中心线为对称线设置于所述中心 线两侧，并通过键合与所述振镜层相连，使得所述着陆电极与所述振 镜层的悬臂梁电位相同；

步骤S4中的所述设定形状为：形成的振镜层包括：振镜、支架 以及悬臂梁，所述振镜两端与所述悬臂梁连接，所述支架固定于所述 衬底上，所述悬臂梁与所述支架连接，所述悬臂梁为鱼骨形结构，具 有末端可接触到所述着陆电极的多根不同长度的齿状子梁，可允许连 接的所述振镜产生扭动。

8.如权利要求7所述的静电振镜的制作方法，其特征在于，步 骤S1中二氧化硅作为所述衬底，或使用导电或半导体材料进行绝缘 化处理作为所述衬底。

9.如权利要求7所述的静电振镜的制作方法，其特征在于，步 骤S1中使用P型或N型硅材料作为所述衬底。

10.如权利要求9所述的静电振镜的制作方法，其特征在于，步 骤S2中，在所述P型硅衬底上制作掩膜，向所述P型硅衬底中掺入 N型杂质，形成所述驱动层。

11.如权利要求7所述的静电振镜的制作方法，其特征在于，步 骤S3中所述振镜层牺牲层先置于所述制好驱动层的衬底表面，然后 平坦化处理，再由掩膜刻蚀制作形成。

12.如权利要求7所述的静电振镜的制作方法，其特征在于，步 骤S4中还包括：通过表面薄膜工艺在所述导电材料上生成一层金属， 以增加振镜的反射率。