[发明专利]APS太阳敏感器可识别多孔掩膜板

权利要求书

1.APS太阳敏感器可识别多孔掩膜板，其特征在于：所述的掩膜板包括 玻璃基板及镀膜层，玻璃基板下表面镀膜，玻璃基板镀膜面上光刻至少3个成 像小孔，成像小孔在x方向每行只有一个，任意两个成像小孔之间x方向距离、 y方向距离中至少一个方向距离差异不小于20个像素，成像小孔方形区域边界 边长不超过d，d的单位为mm，d＝L-2htanα；

其中，L为APS太阳敏感器中的图像传感器有效像平面边长；

h为掩膜板到所述的图像传感器像平面的距离；

α为APS太阳敏感器的视场角。

2.根据权利要求1所述的APS太阳敏感器可识别多孔掩膜板，其特征在 于：所述的成像小孔孔径满足孔径线性方向覆盖3至5个像元，并且所成图像 仅有一个会聚亮斑。

3.根据权利要求1所述的APS太阳敏感器可识别多孔掩膜板，其特征在 于：所述镀膜的膜层结构为层叠式结构，镀膜膜层为低反射率铬膜。