[发明专利]一种分块式主镜复杂光瞳成像分析方法和装置

权利要求书

1.一种分块式主镜复杂光瞳成像分析方法，其特征在于，包括：

建立与光学设计仿真模块之间的数据传输通道；

通过所述数据传输通道，向所述光学设计仿真模块发送孔径描述指令， 所述光学设计仿真模块中的非顺序光学追迹组件根据所述孔径描述指令对主 镜的各个分块镜进行建模；

通过所述数据传输通道，向所述光学设计仿真模块发送所述分块镜位置 误差参数和面形误差参数；

接收所述光学设计仿真模块通过所述数据传输通道返回的出瞳波前误 差，其中所述出瞳波前误差是由所述光学设计仿真模块中的像质分析子单元 根据主镜分块镜位置误差参数、面形误差参数以及所述非顺序光学追迹组件 建立的主镜的各个分块镜的模型，并模拟光线经过主镜且历经实际光学系统 后进行成像像质分析得到的；

所述向光学设计仿真模块发送孔径描述指令具体实现为：

向所述光学设计仿真模块发送指示孔径描述指令文件的信息，以便所述 光学设计仿真模块中的非顺序光学追迹组件能够根据所述孔径描述指令文件 信息读取所述孔径描述指令文件，所述孔径描述指令文件中存储有用于描述 主镜的各个分块镜的光瞳形状的孔径描述指令；

所述非顺序光学追迹组件根据所述孔径描述指令对主镜的各个分块镜进 行建模包括：

所述非顺序光学追迹组件接收添加的主镜的各个分块镜，所述主镜的面 形类型预先设置为非序列组件，所述主镜的前后预先各插入一个虚拟面，并 预先设定了所述主镜上非顺序光线追迹的入口和出口位置；

所述非顺序光学追迹组件根据所述孔径描述指令对主镜的各个分块镜进 行建模。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述分块镜位置误差参数 包括：分块镜在X、Y和Z三个方向上的平移和倾斜误差中的任意组合。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述分块镜面形误差参数 包括：分块镜的曲率半径误差、二次曲面系数误差和以网格点矢高定义的面 形误差中的任意组合。

4.一种分块式主镜复杂光瞳成像分析的装置，其特征在于，包括：

通道建立单元，用于建立与光学设计仿真模块之间的数据传输通道；

光瞳形状发送单元，用于通过所述数据传输通道，向所述光学设计仿真 模块发送孔径描述指令，所述孔径描述指令用于所述光学设计仿真模块中的 非顺序光学追迹组件据此对主镜的各个分块镜进行建模；

误差发送单元，用于通过所述数据传输通道，向所述光学设计仿真模块 发送分块镜误差参数和面形误差参数；

接收单元，用于接收所述光学设计仿真模块通过所述数据传输通道返回 的出瞳波前误差，其中所述出瞳波前误差是由所述光学设计仿真模块中的像 质分析子单元根据主镜分块镜位置误差参数、面形误差参数以及所述非顺序 光学追迹组件建立的主镜的各个分块镜的模型，并模拟光线经过主镜且历经 实际光学系统后进行成像像质分析得到的；

所述光瞳形状发送单元具体用于向所述光学设计仿真模块发送指示孔径 描述指令文件的信息，以便所述光学设计仿真模块中的非顺序光线追迹组件 能够根据所述孔径描述指令文件信息读取所述孔径描述指令文件，所述孔径 描述指令文件中存储有用于描述主镜的各个分块镜的光瞳形状的孔径描述指 令；

所述非顺序光学追迹组件根据所述孔径描述指令对主镜的各个分块镜进 行建模包括：

所述非顺序光学追迹组件接收添加的主镜的各个分块镜，所述主镜的面 形类型预先设置为非序列组件，所述主镜的前后预先各插入一个虚拟面，并 预先设定了所述主镜上非顺序光线追迹的入口和出口位置；

所述非顺序光学追迹组件根据所述孔径描述指令对主镜的各个分块镜进 行建模。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述分块镜位置误差参数 包括：分块镜在X、Y和Z三个方向上的平移和倾斜误差中的任意组合。

6.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述分块镜面形误差参数 包括：分块镜的曲率半径误差、二次曲面系数误差和以网格点矢高定义的面 形误差中的任意组合。