[发明专利]一种微机械梳齿电容器无效
| 申请号： | 200910237505.9 | 申请日： | 2009-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN102064021A | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 郭中洋;杨振川;闫桂珍 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | H01G5/40 | 分类号： | H01G5/40;H01G5/019;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 苏培华 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 微机 梳齿 电容器 | ||
1.一种微机械梳齿电容器，其特征在于，包括：
固定梳齿电极和可动梳齿电极，所述固定梳齿电极和可动梳齿电极交叠成解耦梳齿电容器，当所述可动梳齿电极在外力作用下，与所述固定梳齿电极相对离面运动时，所述微机械梳齿电容器的电容保持不变。
2.根据权利要求1所述的微机械梳齿电容器，其特征在于，
所述可动梳齿电极的第一端高于所述固定梳齿电极的第一端，所述可动梳齿电极的第二端低于所述固定梳齿电极的第二端，所述可动梳齿电极和固定梳齿电极相对离面运动时交叠面积固定不变。
3.根据权利要求1所述的微机械梳齿电容器，其特征在于，
所述可动梳齿电极的第一端低于所述固定梳齿电极的第一端，所述可动梳齿电极的第二端高于所述固定梳齿电极的第二端，所述可动梳齿电极和固定梳齿电极相对离面运动时交叠面积固定不变。
4.根据权利要求1、2或3所述微机械梳齿电容器，其特征在于，所述微机械梳齿电容器为微机械驱动梳齿电容器。
5.根据权利要求4所述的微机械梳齿电容器，其特征在于，所述微机械驱动梳齿电容器采用开环驱动或者闭环驱动。
6.根据权利要求5所述的微机械梳齿电容器，其特征在于，所述微机械驱动梳齿电容器为一组或多组。
7.根据权利要求1、2或3所述微机械梳齿电容器，其特征在于，所述微机械梳齿电容器为微机械检测梳齿电容器。
8.根据权利要求7所述的微机械梳齿电容器，其特征在于，所述微机械检测梳齿电容器采用开环检测或者闭环检测。
9.根据权利要求8所述的微机械梳齿电容器，其特征在于，所述微机械检测梳齿电容器为一组或者多组。
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