[发明专利]一种制备太阳能电池的方法无效
| 申请号： | 200910237701.6 | 申请日： | 2009-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN102064231A | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 贾士亮 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L31/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明;王宝筠 |
| 地址： | 100016 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 制备 太阳能电池 方法 | ||
1.一种制备太阳能电池的方法，其特征在于，所述方法包括：
提供一衬底；
将所述衬底置于第一浓度的碱溶液中，以在所述衬底的上下表面形成绒面；
对形成绒面的衬底进行掺杂制结，以在所述衬底的上下表面形成掺杂层；
在带有掺杂层的所述衬底的上表面沉积保护层；
将所述衬底浸入第二浓度的碱溶液中，以对所述衬底的下表面进行抛光；
在所述抛光后衬底的上下表面进行丝网印刷电极，形成太阳能电池。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述保护层的材料为氮化硅。
3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，沉积所述氮化硅的工艺为等离子体增强化学气相沉积或溅射。
4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述溅射工艺采用的靶材为高纯氮化硅陶瓷靶或高纯硅靶。
5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二浓度为20％-30％。
6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述衬底在第二浓度碱溶液中的反应温度为70℃-90℃。
7.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述衬底在第二浓度碱溶液中的反应时间为1-3分钟。
8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二浓度的碱溶液为NaOH、KOH或其组合。
9.如权利要求1-8任一项所述的方法，其特征在于，所述第二浓度的碱溶液中还包括反应活性剂。
10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述反应活性剂为异丙醇、乙醇或其组合。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
