[发明专利]质量流量传感器

说明书

技术领域

本发明涉及质量流量控制领域，尤其涉及一种热式质量流量传感器。

背景技术

热式质量流量传感器作为质量流量控制器上的最核心部件，其性能的优劣将对气体质量流量控制器的整体性能产生重大的影响。鉴于热式质量流量传感器对质量流量控制器的重要性，气体质量流量控制器性能改进必要求优先改进其传感器的性能。现有技术中常用的热式质量流量传感器体积较大，制作工艺复杂，而且实际使用过程中出现诸多的问题如：零漂大，抗干扰能力差，对安装的方位很敏感，重复精度差，响应时间长和传感丝易断等缺点。

发明内容

本发明的目的是提供一种质量流量传感器，该传感器体积小、重量轻、易安装，且零漂小、抗干扰能力强、响应快、对安装方位不敏感、重复精度高，可克服现有技术的不足。

为实现上述目的，本发明采用如下技术方案。

本发明所提供的质量流量传感器，该传感器包括：传感器底座，其上设置有用于安装其他部件的通孔；前罩、后罩，均固定在所述传感器底座上，内部均设置有放置传感管的槽；传感管，其通过支架支撑固定，两侧对称位置绕有传感丝；接线板，连接在所述支架上。

其中，该传感器还包括设置于所述前罩和/或后罩的槽内的保温层。

其中，所述传感管为倒U型，其两个开放端穿过并固定于所述传感器底座上的通孔。

其中，所述前罩、后罩的底边均设置有允许所述传感管两开放端通过的凹槽，所述后罩的底边还设置有允许引出线通过的凹槽。

其中，所述引出线穿过所述传感器底座的通孔。

其中，所述前罩、后罩通过紧固螺钉合并固定。

其中，所述前罩、后罩均为长方形罩。

其中，所述前罩、后罩内部的槽均为长方形槽。

其中，所述传感丝共有四组。

其中，所述接线板设置有与四组传感丝的八个接线头分别相连的接线端子，以及与三条引出线分别相连的接线端子。

本发明的质量流量传感器体积小、重量轻、易安装，且具有零漂小、抗干扰能力强、响应快、对安装方位不敏感、重复精度高及传感丝不易断的优点，制作工艺简单、成本低。

附图说明

图1为依照本发明一种实施方式的质量流量传感器剖视图；

图2为依照本发明一种实施方式的质量流量传感器侧视图；

图3为依照本发明一种实施方式的质量流量传感器后视图；

图4为依照本发明一种实施方式的质量流量传感器的前罩结构示意图；

图5为依照本发明一种实施方式的质量流量传感器的后罩结构示意图；

图6为依照本发明一种实施方式的质量流量传感器的支架结构示意图；

图7为依照本发明一种实施方式的热式质量流量传感器的接线板结构示意图。

具体实施方式

本发明提出的热式质量流量传感器，结合附图和实施例说明如下。

如图1-3所示，依照本发明一种实施方式的质量流量传感器，包括：传感器底座1，其上设置有用于固定其他部件的通孔；前罩2、后罩3，均为固定在传感器底座1上的长方形或其他形状的罩，其内均设置有长方槽(参见图4、5)用于放置传感管4，长方槽的设置能够有效地减小传感管4可移动的分布空间，大大提高其相应速度，前罩2、后罩3底边都设置有允许传感管4两开放端通过的凹槽，后罩3底边还设置有允许引出线9通过的三个凹槽(参见图5)；传感管4，为倒U型(参见图1)，其上端及两侧通过粘接的支架6支撑固定，两侧对称位置绕有多组(例如四组)传感丝5，两开放端穿过并固定(例如用胶11粘固)于传感器底座1上的通孔，传感丝5的设置能够使热量在前罩2、后罩3所形成的腔体内均匀分布，从而使传感器具有对安装的方位不敏感的优点；支架6，其为倒T型铜支架(参见图6)，用于保证传感管4的稳定，保护传感丝5不易损坏，其水平支架部分使传感管4两侧保持平行且稳固，竖直支架部分粘接有接线板7，接线板7为超薄型电路板，以减小工作空间，提高传感器的响应速度。接线板7可设置有11个接线端子(参见图6)，包括设置于四组传感丝5的八个接线头对应位置处、且与该八个接线头相连的八个接线端子，以及底端与三条连接引出线9相连的接线端子，三条引出线9也穿过传感器底座1的相应通孔。

前罩2和/或后罩3的长方槽内还设置有保温层8，保温层8采用保温材料，以防止内外热交引起的传感器内部热量分布不平衡，抑制零点漂移，同时，保护传感丝5在收到振动时不至断裂。前罩2、后罩3的四角均设有螺纹通孔，上述各部件分别设定后，通过紧固螺钉10将前罩2、后罩3二者合并固定。当然，前罩2、后罩3也可以采用铆接等其他相互固定的方式。

以上实施方式仅用于说明本发明，而并非对本发明的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本发明的范畴，本发明的专利保护范围应由权利要求限定。