[发明专利]黄铜矿型太阳能电池光吸收层及其电池制备方法有效
申请号: | 200910238944.1 | 申请日: | 2009-12-31 |
公开(公告)号: | CN102117862A | 公开(公告)日: | 2011-07-06 |
发明(设计)人: | 刘国文;钟北军;马青云 | 申请(专利权)人: | 比亚迪股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518118 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 黄铜矿 太阳能电池 光吸收 及其 电池 制备 方法 | ||
1.一种黄铜矿型太阳能电池光吸收层制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
S1:制备一金属预置层;
S2:在金属预置层表面形成硒层、或硫层、或硒硫层;
S3:再在上述步骤S2中的硒层、或硫层、或硒硫层上形成一层金属预置层,形成一A/B/A形的中间产物;
S4:将所述中间产物进行硒化和/或硫化处理。
2.如权利要求1所述的黄铜矿型太阳能电池光吸收层制备方法,其特征在于,在步骤S1和S3中制备所述金属预置层的方法为:采用铜镓靶材和铜铟靶材溅射得到金属预置层或采用铜铟镓靶材溅射得到金属预置层。
3.如权利要求1所述的黄铜矿型太阳能电池光吸收层制备方法,其特征在于,在步骤S1和S3中制备所述金属预置层的方法为:采用铜铟靶材溅射得到金属预置层。
4.如权利要求1所述的黄铜矿型太阳能电池光吸收层制备方法,其特征在于,步骤S2中通过磁控溅射的方法在金属预置层表面形成硒层或硫层或硒硫层。
5.如权利要求1所述的黄铜矿型太阳能电池光吸收层制备方法,其特征在于,步骤S4中硒化和/或硫化处理为将中间产物加热烘烤,真空5×10-3Pa,硒化和/或硫化过程保持在硒或硫或硒硫的饱和蒸汽压状态,从室温开始加热,至280~350℃内保持,于此温度恒温3~5min;再快速升温至500~550℃并恒温20~60min;在20~40min内阶梯降温至250~350℃,后自然冷却至室温。
6.如权利要求1所述的黄铜矿型太阳能电池光吸收层制备方法,其特征在于,步骤S1中所述金属预置层的厚度为0.4~0.6μm。
7.如权利要求1所述的黄铜矿型太阳能电池光吸收层制备方法,其特征在于:步骤S2中的硒层或硫层或硒硫层厚度为0.5~0.8μm。
8.如权利要求1所述的黄铜矿型太阳能电池光吸收层制备方法,其特征在于:在步骤S3在硒层、或硫层、或硒硫层上形成的金属预置层厚度为0.4~0.6μm。
9.如权利要求1所述的黄铜矿型太阳能电池光吸收层制备方法,其特征在于:所述黄铜矿型太阳能电池包括铜铟硒太阳能电池或铜铟镓硒太阳能电池或铜铟镓硫太阳能电池或铜铟镓硫硒太阳能电池。
10.一种黄铜矿型太阳能电池制备方法,包括依次形成衬底、金属背电极、光吸收层、过渡层、窗口层、透明电极层及电极引线层;其特征在于:所述光吸收层的制备方法为权利要求1-9中任意一项所述的方法。
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