[发明专利]一种检测三氯氢硅纯度的方法及装置

权利要求书

1.一种检测三氯氢硅纯度的方法，其特征在于：它包括以下几个步骤：

(1)、将TCS储液罐中的TCS通过压力差压入缓冲罐，再从缓冲罐通过 压力差压入反应罐；

(2)、TCS在反应罐中与预先加入的水反应，使TCS与水反应生成硅化物和 盐酸，同时TCS含有的金属杂质与氯离子反应生成金属氯化物；

(3)、提取反应罐内的生成物后，用设备电感耦合等离子质谱进行分析，得 到氯和金属的量，由氯换算成TCS的量，并计算出三氯氢硅的纯度。

2.一种用于权利要求1检测三氯氢硅纯度的方法的装置，其特征在于：它 包括以下几个部分：缓冲罐、反应罐以及密封罐，其连接方式为：

通入缓冲罐的管路共有三条，一条管路2串接一阀门V5后和TCS储液灌的 液相接口连接，一条管路5串接一阀门V8后和反应罐连接，另外的一条管路4 和文氏管的抽气口连接，该管路与文氏管的抽气口之间串接三个阀门V7、V6、 V14和两个三通，其中一个三通通过管路3和TCS储液罐气相接口连接，另一 个三通通过管路6和阀门V9和密封罐连接；通入反应罐的管路共有两条，一条 管路5串接一阀门V8后和缓冲罐连接，另一条管路7串接一阀门V10后和密封 罐连接，反应罐外侧为冰浴装置以保持反应罐恒温，反应罐置于磁力搅拌器上； 通入密封罐的管路共有两条，一条管路7串接一阀门V10后和反应罐连接，另一 条管路6串接一阀门V9后通过三通和缓冲罐连接；

在反应罐、密封罐中充入一定量的纯水，反应罐内纯水的量不能淹没管路5 和管路7的端口，密封罐内的纯水量不能淹没管路6的端口，但管路7通到密封 罐底部。

3.根据权利要求2所述的用于权利要求1检测三氯氢硅纯度的方法的装置， 其特征在于：所述的缓冲罐的底部有一作为收集TCS的凹坑。