[发明专利]能引出高束流金属离子的冷阴极潘宁离子源无效
| 申请号： | 200910242350.8 | 申请日： | 2009-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN101728200A | 公开（公告）日： | 2010-06-09 |
| 发明（设计）人： | 徐嘉东;李建明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 引出 流金 离子 阴极 离子源 | ||
1.一种能引出高束流金属离子的冷阴极潘宁离子源，其特征在于，该潘宁离子源包括：
一圆桶形水套(11)，其同一侧面具有一进水口(131)和一出水口(132)，进水口(131)和出水口(132)均与圆桶形水套(11)内的空间相通，空间中充满水，用于冷却；
一永久磁铁圆柱体(12)，置于圆桶形水套(11)内并与圆桶形水套(11)同轴；
一软铁圆柱体(13)，置于圆桶形水套(11)内永久磁铁(12)的前端，与永久磁铁圆柱体(12)紧邻，且与圆桶形水套(11)同轴；
一上阴极(14)，该上阴极为圆柱体，置于圆桶形水套(11)的外端，与圆桶形水套(11)焊接；
一阳极(21)，该阳极(21)的形状如短圆管，置于水套(11)的外端，与圆柱体上阴极(14)有一预定距离，且与圆桶形水套同轴；
一下阴极(31)，置于圆柱体状上阴极(14)的对面，与圆柱体状上阴极(14)有一预定距离，且与圆桶形水套(11)同轴；以及
一引出电极(33)，该引出电极(33)形如圆形漏斗，与下阴极(31)同轴，置于下阴极(31)的另一端，并与下阴极(31)有一预定距离。
2.根据权利要求1所述的能引出高束流金属离子的冷阴极潘宁离子源，其特征在于，所述软铁圆柱体(13)是一个永久磁铁，其与永久磁铁圆柱体(12)直径相同。
3.根据权利要求1所述的能引出高束流金属离子的冷阴极潘宁离子源，其特征在于，所述下阴极(31)是一带有圆孔(32)的圆片，圆片的厚度为2毫米，圆孔(32)的直径为2毫米，且该圆片采用的材料是与引出的金属离子相同的金属材料。
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