[发明专利]一种光纤压力传感器的密封方法

权利要求书

1.一种光纤压力传感器的密封方法，是通过采用激光微加工工艺和机械密封技术，采用线聚焦的CO₂激光束将内径与裸光纤外径匹配的厚壁石英毛细管与石英光纤熔融、密封、固定到一起，再利用锥形软金属环通过机械挤压密封毛细管和不锈钢封装结构。

2.一种光纤压力传感器的密封方法，由波纹膜片(6)、压力传导液充填空间(7)，光纤压力敏感元(1)，裸光纤(2)、CO₂激光融熔点(3)、厚壁石英管(4)、带涂覆层的信号传导光纤(5)、软金属锥形密封环(8)，压力传感器不锈钢外封装结构(9)，压力传感器封装结构的光纤保护管(10)组成，其特征在于：压力传感器不锈钢外封装结构(9)与压力传感器封装结构的光纤保护管(10)对接，中间有软金属锥形密封环(8)密封，压力传感器不锈钢外封装结构(9)内腔有压力传导液充填空间(7)，端部有波纹膜片(6)，其内有光纤压力敏感元(1)，裸光纤(2)、CO₂激光融熔点(3)、厚壁石英管(4)、带涂覆层的信号传导光纤(5)一次穿过。裸光纤(2)中间包有厚壁石英管(4)，其上有CO₂激光融熔点(3)，厚壁石英管(4)卡在软金属锥形密封环(8)内，一端连有带涂覆层的信号传导光纤(5)。

3.根据权力要求1所述的一种光纤压力传感器的密封方法，其特征在于：选择内孔直径与光纤外径匹配的厚壁石英毛细管(4)，将带涂覆层的信号传导光纤(5)的一端去掉涂敷层后，利用光学调整装置插入厚壁石英毛细管(4)中，然后调整CO₂激光束(3)，使其焦线会聚在厚壁石英管(4)中间略偏向传感单元一边，利用激光局部加热使光纤(2)和厚壁石英毛细管(4)熔接、封闭和永久性固定，然后在光纤端部连接或者直接制作光纤压力敏感元(1)。

4.根据权力要求1所述的一种光纤压力传感器的密封方法，其特征在于：上述过程制作的光纤压力敏感元一密封石英管组件穿套一个软金属锥形密封环(8)，然后穿入压力传感器封装结构的光纤保护管(10)，将压力传感器不锈钢外封装结构(9)中的压力传导液充填空间(7)充满压力传导液，然后与压力传感器封装结构的光纤保护管(10)对接旋紧，这时置于压力传感器封装结构的光纤保护管(10)与厚壁石英管(4)之间的空隙由软金属锥形密封环(8)紧密填充密封。