[发明专利]一种制备Er2O3涂层的方法

权利要求书

1.一种制备Er₂O₃涂层的方法，其特征在于，以纯金属Er靶为靶材，采用反应溅射法制备Er₂O₃涂层，包括以下步骤：

(1)将石英基底先放入酒精中进行超声波清洗，除去表面的水分，然后放入丙酮中进行超声波清洗，除去表面的油污，最后用电吹风吹干；然后将石英基底放置在加热器上，安装靶材，调节靶基距为30～50mm；

(2)抽真空至真空度不大于3.0×10^-3pa，打开加热器电源，将基底加热至700～800℃；

(3)通入氩气和水蒸气，将气压调至0.1～0.8Pa，其中水分压为0.04～0.08Pa，开溅射，将溅射功率增加至80～100W，辉光稳定后，移开挡板，开始沉积；

(4)沉积20～40分钟后，关挡板，关溅射，断开氩气和水蒸气，切断加热电源，关真空系统，得Er₂O₃涂层。

2.根据权利要求1所述的一种制备Er₂O₃涂层的方法，其特征在于，所述纯金属Er靶纯度为99.9％。

3.根据权利要求1所述的一种制备Er₂O₃涂层的方法，其特征在于，所述水蒸气由真空蓄水罐提供，真空蓄水罐保持恒温，以保持水蒸气蒸发量的恒定。