[发明专利]一种太阳能电池隔离层及其制备方法

权利要求书

1.一种太阳能电池隔离层的制备方法，该隔离层为Er₂O₃层，采用反应溅射法制备Er₂O₃隔离层，其特征在于，所述反应溅射法制备Er₂O₃隔离层包括以下步骤：

(1)以304不锈钢箔为基底，靶材选用纯金属Er靶，将基底放置在加热器上，安装靶材，调节靶基距为30～50mm；

(2)抽真空至真空度不大于3.0×10^-3Pa，打开加热器电源，将基底加热至600～700℃；

(3)通入氩气和水蒸气，将气压调至0.1～0.8Pa，其中水分压为0.01～0.04Pa，开溅射，将溅射功率增加至80～100W，辉光稳定后，移开挡板，开始沉积；

(4)沉积20～40分钟后，关挡板，关溅射，断开氩气和水蒸气，切断加热电源，关真空系统，得Er₂O₃隔离层。

2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池隔离层的制备方法，其特征在于，所述纯金属Er靶纯度为99.9％。

3.根据权利要求1所述的一种太阳能电池隔离层的制备方法，其特征在于，所述水蒸气由真空蓄水罐提供，真空蓄水罐保持恒温，以保持水蒸气蒸发量的恒定。