[发明专利]一种光刻技术中实现对准偏差测量的装置和方法

权利要求书

1.一种光刻游标尺的生成方法，其特征在于，包括：

在第一层光刻板图形中设置多条游标尺的短尺齿，并且所述短尺齿等间距排列；

在第二层光刻板图形中设置多条游标尺的长尺齿，并且所述长尺齿等间距排列；

第一层光刻板图形与第二层光刻板图形重叠时，长尺齿与短尺齿交错排列，短尺齿的宽度等于相邻两个长尺齿的间距；

以长尺齿正中的一条尺齿为原点，该原点正负两端的长尺齿以所述原点为中心分别向两端移动对应距离，长尺齿与短尺齿组合形成一幅游标尺，其中，所述对应距离等于待移动的长尺齿所在坐标的绝对值乘上预设分辨率的二倍。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述长短尺齿组合形成一幅游标尺之前，缩小所述长尺齿或短尺齿的宽度。

3.一种对准偏差测量的方法，其特征在于，包括：

将第一层光刻板图形与第二层光刻板图形重叠，第一层光刻板图形中设置有多条等间距排列的游标尺的短尺齿，与第一层光刻板图形的相同位置所述第二层光刻板图形中设置有多条游标尺的长尺齿，该长尺齿与所述短尺齿交错排列，并且以长尺齿正中的一条尺齿为原点，该原点正负两端的长尺齿与该原点间隔的距离分别为长尺齿所在坐标的绝对值乘上游标尺的分辨率的二倍所得乘积加上长尺齿距离原点的原始距离，长尺齿与短尺齿组合形成一幅游标尺，其中，所述原始距离为所述长尺齿与原点之间所有长尺齿和短尺齿的宽度值之和；

以所述原点为中心读出正向第一个长尺齿与短尺齿图形不相连的尺齿的刻度数，记为正刻度；读出负向第一个长尺齿与短尺齿图形不相连的尺齿的刻度数，记为负刻度；

将所述正刻度加上负刻度并乘上预设分辨率得到该次对准偏差的读数值。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述分辨率的最小取值0.005微米。

5.一种光刻游标尺，其特征在于，包括：

多条游标尺的短尺齿设置在第一层光刻板图形中，并且各短尺齿等间距排列；

多条游标尺的长尺齿设置在第二层光刻板图形中，该长尺齿与所述短尺齿交错排列，并且以长尺齿正中的一条尺齿为原点，该原点正负两端的长尺齿与该原点间隔的距离分别为长尺齿所在坐标的绝对值乘上游标尺的分辨率的二倍所得乘积加上长尺齿距离原点的原始距离，长尺齿与短尺齿组合形成一幅游标尺，其中，所述原始距离为所述长尺齿与原点之间所有长尺齿和短尺齿的宽度值之和。

6.如权利要求5所述的光刻游标尺，其特征在于，所述长尺齿的宽度小于两个短尺齿之间的间距。

7.如权利要求5所述的光刻游标尺，其特征在于，所述分辨率的取值为0.005微米。

8.应用权利要求5～7所述的光刻游标尺进行对准偏差测量的方法，其特征在于，包括：

在两层重叠的光刻板图形中，以所述原点为中心读出正向第一个长尺齿与短尺齿图形不相连的尺齿的刻度数，记为正刻度；读出负向第一个长尺齿与短尺齿图形不相连的尺齿的刻度数，记为负刻度；

将所述正刻度加上负刻度并乘上预设分辨率得到该次对准偏差的读数值。