[发明专利]一种用于强电场测量的栅格电极光电集成传感器

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于强电场测量的栅格电极光电集成传感器，尤其适于高电场幅值情况下的隔离及强电场测量，属于高电压测量技术领域。

背景技术

在高电压或强电磁脉冲环境下，会产生非常强的瞬态电场。对之进行测量的关键部件就是电场传感器。该传感器不仅要求能够克服高电压、强电磁环境下的绝缘与电磁干扰问题，而且还要能够准确测量出这种幅值很高的瞬态强电场。

在传统高压测量领域，一般采用电磁感应原理的传感器。基于电磁感应原理的强电场传感器具有以下几个缺点。1、传感器尺寸较大，不能实现空间精确定位测量；2、由于采用电磁感应原理，因此为整个传感器金属结构，对于被测电场的分布影响非常大；3、电源问题难以解决；4、一般采用电缆作为信号传输通路，无法提供高带宽的路径，很难同时兼顾低频和高频性能，测量的频率范围受到很大限制，难以实现瞬态信号的测量。常见的一种实现高压强电场测量的电磁传感器如图1所示。外加电场1通过两个半球2感应出电压，通过测量电容3上的电压来得到外加电场的值。

因此，上述传统的电场传感器不能完全满足强电场测量的要求。在高电压与强电磁环境领域，迫切需要研究开发一种具有可靠隔离、强抗干扰能力、高频率响应带宽和具有小体积的强电场传感器。

近年来，研究人员提出了采用单个波导上方覆盖电极的光电集成器件实现强电场的测量，具体结构如图2和图3所示。但是为了防止波导6上方的电极7金属离子渗透到波导中，影响固有光程差，就在波导与电极之间覆盖上Si基涂层8。经过研究发现由于该涂层的存在，在外界温度变化时，会对传感器的介电参数产生影响，从而对传感器的静态工作点的稳定性产生影响，也就直接影响了测量的准确度。

发明内容

本发明的目的是提出一种用于强电场测量的栅格电极光电集成传感器，利用栅格电极提高静态工作点的稳定性，利用晶体的电光效应将待测的空间电场直接调制到通过传感器光波导的光波信号上，通过检测经过调制的光波信号，即可以还原待测的电场信号。本发明的另一个目的是通过改进电极形状设计，去掉波导上方的Si基涂层，以提高静态工作点的稳定性。

本发明提出的用于强电场测量的栅格电极光电集成传感器，采用具有电光效应的晶片，在晶片表面用钛金属扩散法或质子交换方法形成两端Y形分叉、中间互相平行的光波导，在互相平行的两段光波导中的一段上方设置栅格电极；所述的栅格电极由两条横向电极及连接横向电极的多条纵向电极构成，构成栅格电极的两条横向电极之间的宽度与所述的互相平行的两段光波导之间的宽度之比为：1∶2～5，纵向电极的宽度L₁与横向电极的长度L₂之比为：L₂∶L₁＝1∶20～30，横向电极的长度L₂与所述的互相平行的两段光波导的长度L₃之比为：L₃∶L₂＝1～0.05∶1。

本发明提出的用于强电场测量的栅格覆盖光电集成传感器，可以满足强电场(大于100kV/m)的测量，而且还具有以下特点和优点：

1、本发明的光电集成传感器采用的栅格形状的电极，可以最大程度的减少电极下Si基涂层对于传感器静态工作点的影响，有效提高其测量稳定性。

2、本发明的光电集成传感器中金属元件尺寸尽可能地减少，对被测电场的影响更小，因此测量准确度更高。

3、本发明的光电集成传感器采用的电极材料，一般为金，其用量比已有的电极更少，因此可以大大降低产品成本。

4、本发明的光电集成传感器可以进行多种物理量的测量。不仅可以用于测量强电场信号的幅值，还可以用于测量电场的频率、相位等信息。

5、本发明的光电集成传感器中采用光波导进行信号传输，传感器中无需使用电源就可以实现测量，即无源测量，因此非常适合高电压区域的测量。

附图说明

图1为已有电磁感应原理的强电场传感器结构示意图。

图2为已有的光电集成传感器的结构示意图。

图3是图2的A-A剖视图。

图4为本发明提出的栅格电极光电集成传感器的结构示意图。

图5是图4的B-B剖视图。

图6为应用本发明的光电集成强电场测量系统的示意图。