[发明专利]一种带有内衬栅网的多级降压收集极及其制法和应用无效
| 申请号： | 200910244510.2 | 申请日： | 2009-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102117725A | 公开（公告）日： | 2011-07-06 |
| 发明（设计）人： | 王自成;董芳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | H01J23/027 | 分类号： | H01J23/027;H01J9/14;H01J25/34;H01J25/10 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周长兴 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 带有 内衬 多级 降压 收集 及其 制法 应用 | ||
【权利要求书】：
1.一种带有内衬栅网的多级降压收集极，是在多级降压收集极的内表面镶衬有金属栅网，以抑制二次电子发射的原理设计。
2.如权利要求1所述带有内衬栅网的多级降压收集极，其中，金属栅网材料是镍、钼、钨、无氧铜或不锈钢。
3.如权利要求1所述带有内衬栅网的多级降压收集极，其中，金属栅网的厚度为0.1～0.3mm，网孔密度为50～200目。
4.一种制备权利要求1所述带有内衬栅网的多级降压收集极中金属栅网的方法，将平面金属栅网以冲压或卷压方式制作而成。
5.如权利要求4所述的制备方法，其中，平面金属栅网是用金属丝编织而成，所用金属丝的材料是镍、钼、钨、无氧铜或不锈钢。
6.如权利要求4所述的制备方法，其中，平面金属栅网是由金属箔经过电火花加工方法、电子束加工方法或激光加工方法加工而成，所用金属箔的材料是镍、钼、钨、无氧铜或不锈钢。
7.如权利要求4所述的制备方法，其中，平面金属栅网是通过电铸造法或铸造法制备而成，所用材料是镍、钼、钨、无氧铜或不锈钢。
8.如权利要求4所述的制备方法，其中，金属栅网是用车制的金属薄筒经过电火花加工方法、电子束加工方法或激光加工方法加工而成，所用坯料的材料是镍、钼、钨、无氧铜或不锈钢。
9.权利要求1所述带有内衬栅网的多级降压收集极在电真空器件中作为行波管或速调管的应用。
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