[发明专利]制造蓝光刻录光盘的生产系统及生产方法

权利要求书

1.一种制造蓝光刻录光盘的生产系统，其包括传输带、第一溅镀站、第二溅镀站、染料涂布机构、旋涂固化机构、清边机构及检测机构，所述第一溅镀站用于溅镀金属反射层，所述第二溅镀站用于溅镀缓冲层，所述染料涂布机构用于旋涂染料层并进行检测和烘干，所述旋涂固化机构用于旋涂保护层并进行固化，所述清边机构用于清理基片周边有效区域外的形成物，所述检测机构用于检测质量；所述清边机构包括第一清边机构及第二清边机构；所述第一溅镀站与所述第二溅镀站之间设置有所述染料涂布机构，所述第二溅镀站与所述旋涂固化机构之间设置有所述第一清边机构，所述旋涂固化机构与所述检测机构连接，其特征在于：

所述染料涂布机构包括第一染料碗、扫描仪及烘烤箱，所述第一染料碗具有下料手，所述第一染料碗通过传输带与所述第一溅镀站连接，所述扫描仪连接于所述第一染料碗与所述烘烤箱之间，所述烘烤箱与所述第二溅镀站连接；

所述旋涂固化机构包括第一旋涂固化机构、第二旋涂固化机构及第三旋涂固化机构，所述第一旋涂固化机构与所述第一清边机构连接，所述第三旋涂固化机构与所述检测机构连接，所述第一旋涂固化机构包括并列设置的第一旋涂碗及第一固化单元，所述第二旋涂固化机构包括并列设置的第二旋涂碗及第二固化单元，所述第三旋涂固化机构包括并列设置的第三旋涂碗及第三固化单元，所述第一旋涂碗、第二旋涂碗及第三旋涂碗均具有下料手；

所述第二清边机构连接于所述第一旋涂固化机构与所述第二旋涂固化机构之间。

2.如权利要求1所述的制造蓝光刻录光盘的生产系统，其特征在于：所述染料涂布机构还包括与所述第一染料碗并排的且具有下料手的第二染料碗，所述第一染料碗与第二染料碗通过呈“V”型的第一机械手与所述传输带连接。

3.如权利要求2所述的制造蓝光刻录光盘的生产系统，其特征在于：所述染料涂布机构还包括并排的且具有下料手的第三染料碗及第四染料碗，所述第三染料碗及第四染料碗与所述第一染料碗及第二染料碗对称设置并通过呈“V”型的第二机械手与所述传输带连接。

4.如权利要求1所述的制造蓝光刻录光盘的生产系统，其特征在于：所述第一旋涂固化机构还包括并列设置的第四旋涂碗及第四固化单元，所述第四旋涂碗及第四固化单元与所述第一旋涂碗及第一固化单元对称设置且四者之间通过具有三个机械臂的第四机械手连接，所述第四旋涂碗具有下料手。

5.如权利要求1所述的制造蓝光刻录光盘的生产系统，其特征在于：所述第二旋涂固化机构还包括并列设置的第五旋涂碗及第五固化单元，所述第五旋涂碗及第五固化单元与所述第二旋涂碗及第二固化单元对称设置且四者之间通过具有三个机械臂的第五机械手连接，所述第五旋涂碗具有下料手。

6.如权利要求1所述的制造蓝光刻录光盘的生产系统，其特征在于：所述第三旋涂固化机构还包括与所述第三旋涂碗对称设置并具有下料手的第六旋涂碗，所述第三旋涂碗、第三固化单元及第六旋涂碗之间通过具有三个机械臂的第六机械手连接。

7.如权利要求6所述的制造蓝光刻录光盘的生产系统，其特征在于：所述制造蓝光刻录光盘的生产系统还包括第三暂存转盘，所述第三暂存转盘连接于所述检测机构和对称设置的第三旋涂碗及第六旋涂碗之间，所述第三旋涂碗、第六旋涂碗及所述第三暂存转盘通过所述第六机械手连接，所述第三固化单元连接于所述第三暂存转盘上。

8.如权利要求1所述的制造蓝光刻录光盘的生产系统，其特征在于：还包括第一暂存转盘及第二暂存转盘，所述第一暂存转盘连接于所述第二清边机构与所述第二旋涂固化机构之间，所述第二暂存转盘连接于所述第二旋涂固化机构与所述第三旋涂固化机构之间，所述第一暂存转盘、第二旋涂固化机构及第二暂存转盘之间通过第五机械手连接，所述第二暂存转盘与第三旋涂固化机构之间通过第六机械手连接。

9.如权利要求1所述的制造蓝光刻录光盘的生产系统，其特征在于：所述第一清边机构包括相互对称设置的第一洗边碗及第二洗边碗，所述第一洗边碗与第二洗边碗通过呈直角的第三机械手连接于所述第二溅镀站与所述第一旋涂固化机构之间。

10.如权利要求7所述的制造蓝光刻录光盘的生产系统，其特征在于：还包括用于翻转碟片的翻碟机构，所述翻碟机构与所述第三暂存转盘连接，所述检测机构与所述翻碟机构连接。