[发明专利]气缸式升降机构

说明书

技术领域

本发明涉及一种气缸式升降机构，更具体地涉及一种适用于真空系统领域内真空设备腔体盖的升降或者载物台的升降等的气缸式升降机构。

背景技术

随着现代科学技术的迅猛发展，对产品质量和生产工艺要求不断提高，真空技术在高科技产业化的发展中展现出广阔的应用前景，尤其体现在对真空环境要求极高的数码显示技术产业中。有机电致发光(Organic ElectroluminescentLight，简称为OEL)技术是高新数码显示领域的新兴技术，其具有两个技术分支，一个是分子量在500～2000之间的小分子有机发光二极管(Organic LightEmitting Diode)简称为OLED或SM-OLED；另一个是分子量在10000～100000之间的高分子(又称聚合物)有机发光二极管(Polymer Light-Emitting Diode)简称为PLED或P-OLED。OLED显示技术是OEL显示技术的一种，在过去的十多年里发展迅猛，取得了巨大的成就。近年来，由于OLED显示器件具有主动发光、发光效率较高、功耗低、轻、无视角限制等优点，被业内人士认为是最有可能在未来的显示器件市场上占据霸主地位的新一代显示器件。所以全球越来越多的显示器厂家纷纷投入此技术的研发，大大的推动了OLED的产业化进程。目前OLED已到大规模量产。OLED显示器件是基于有机材料的一种电流型半导体发光器件。其典型结构是在ITO玻璃上制作一层几十纳米厚的有机发光材料作发光层，发光层上方有一层低功函数的金属电极。当电极上加有电压时，发光层就产生光辐射。

OLED显示器件制备过程中很多工序要求在真空环境下完成，通过利用真空设备来实现高精度工艺要求，其中有很多工序涉及到升降机构，比如承载ITO玻璃的承载台的升降调节，腔体设备中腔盖的升降操作等。现有技术中升降机构主要有机械升降机构，所述升降机构一般采用电机经皮带减速后带动丝杠旋转，螺母连同立柱作升降运动。立柱上端通过设置托架或者挂钩等来完成特定的产品的升降调节。现有的升降机构传动结构复杂维护成本较高，传动平稳性不高，不能满足平稳精确的升降调节需要。

因此，有必要提供一种整体结构紧凑，易于控制，传动简单、平稳、精确、可靠的气缸式升降机构。

发明内容

本发明的目的是提供一种整体结构紧凑，易于控制，传动简单、平稳、精确、可靠的气缸式升降机构。

为实现上述目的，本发明的技术方案为：提供一种气缸式升降机构，包括安装座、气缸马达、托架及导向组件，所述气缸马达安装在所述安装座上，所述气缸马达具有活塞杆，所述活塞杆一端与所述气缸马达活动连接，另一端与所述托架固定连接，所述导向组件包括导向轴以及滑动地套于所述导向轴外的轴套，所述导向轴的一端与所述托架固定连接，所述导向轴的另一端悬空，所述导向轴的轴向平行于所述活塞杆的长度方向，所述轴套固定地设置在所述托架与所述安装座之间。

较佳地，所述导向组件还包括支承座，所述支承座固定地设置在所述托架与所述安装座之间，所述轴套固定在所述支承座上。所述支承座方便所述轴套的固定。较佳地，所述支承座邻近所述托架。由于导向轴需要随托架的运动在轴套内运动，相应的支承座邻近所述托架而设，可大大减小所需导向轴的轴体长度，从而节约成本，使结构紧凑。

在本发明的一实施例中，所述支承座固定在已固定的外接设备上。所述轴套固定在所述支承座上，所述支承座通过与所述外接设备固定连接将所述轴套固定在外接设备上，为所述导向组件提供导向支点，当气缸马达推动活塞杆带动所述托架做升降运动时，由于托架与导向轴固定连接、导向轴与轴套配合，从而使所述托架在导向轴的导向作用下作平稳、准确、可靠的升降运动。

在本发明的另一实施例中，所述支承座与所述气缸马达固定连接，所述轴套固定在所述支承座上，所述支承座通过与所述气缸马达固定连接将所述轴套固定在气缸马达上，为所述导向组件提供了导向支点，当气缸马达推动活塞杆带动所述托架做升降运动时，由于托架与导向轴固定连接、导向轴与轴套配合，从而使所述托架在导向轴的导向作用下作平稳、准确、可靠的升降运动。

较佳地，所述安装座上设有支架，所述气缸马达通过所述支架安装到所述安装座上。通过支架，进一步将气缸马达稳固地固定在所述安装座上，使升降更平稳。

较佳地，所述导向轴为滚珠花键轴，所述轴套为滚珠花键套。所述滚珠花键轴、滚珠花键套采用了高精度的配合，且具有较高的刚性、耐用性，具有平滑、强力的转矩传递从而使精度得到飞跃性的提高。