[发明专利]确定晶圆中蛇形金属线的最小可测长度的方法

权利要求书

1.一种确定晶圆中蛇形金属线的最小可测长度的方法，该方法包括：

在晶圆上预先设置包括多个结构相同的测试模块的测试装置；所述测量模块中包括多种长度的蛇形金属线，用于提供多种待测阻值；

根据预先确定的测量组数以及每组测量时所对应的待测阻值，对测试装置中的每个测试模块进行测量，得到多组测量结果；

根据所获得的多组测量结果以及预先设置的阈值确定可稳定测量的阻值范围；

根据所确定的可稳定测量的阻值范围，确定晶圆中蛇形金属线的最小可测长度。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所获得的多组测量结果以及预先设置的阈值确定可稳定测量的阻值范围包括：

根据预先设置的阈值、每组测量结果中的各个测量值以及平均测量值，确定每组测量结果所对应的待测阻值是否为可稳定测量的阻值；

根据各个可稳定测量的阻值确定可稳定测量的阻值范围。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据预先设置的阈值、每组测量结果中的各个测量值以及平均测量值，确定每组测量结果所对应的待测阻值是否为可稳定测量的阻值包括：

计算每组测量结果中的各个测量值与该组测量结果中的平均测量值之间的均方差；

当一组测量结果中的各个测量值与该组测量结果中的平均测量值之间的最大均方差小于或等于预先确定的阈值时，则与该组测量结果相对应的待测阻值是可稳定测量的阻值；

当一组测量结果中的各个测量值与该组测量结果中的平均测量值之间的最大均方差大于预先确定的阈值时，则与该组测量结果相对应的该待测阻值不是可稳定测量的阻值。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于：

所述每组测量结果中的测量值为在各个测试模块上直接测得的阻值。

5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于：

所述每组测量结果中的测量值为将在各个测试模块上直接测得的阻值通过换算而得到的方块电阻。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述方块电阻的换算方法为：

将在各个测试模块上直接测得的阻值除以在测量该阻值时测试模块上的该蛇形金属线的等效长度，得到与该直接测得的阻值相对应的方块电阻。

7.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据各个可稳定测量的阻值确定可稳定测量的阻值范围包括：

将所有的待测阻值按从小到大的顺利排列；

将连续多个相邻的可稳定测量的待测阻值中的最小待测阻值作为可稳定测量的阻值范围的下限，将连续多个相邻的可稳定测量的待测阻值中的最大待测阻值作为可稳定测量的阻值范围的上限。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所确定的可稳定测量的阻值范围，确定晶圆中蛇形金属线的最小可测长度包括：

将上述被确定的可稳定测量的阻值范围中的最小阻值作为最小可测阻值，然后根据上述最小可测阻值确定晶圆中蛇形金属线的最小可测长度。