[发明专利]精密工件台及其管线设施驱动装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种精密工件台，且特别涉及一种具有管线设施驱动装置的精密工件台。

背景技术

在半导体过程技术以及其他的一些技术中，工作台用来承载晶片。工作台大多是利用气浮结构固定的，需要相配套的电缆、气管、水管等管线设施实现对其供电、供气、冷却、控制等功能。在对晶片进行处理时，经常会遇到要对工作台进行精密定位，大多是使用垂向或平面电机来驱动工作台。在工作台运动的过程中，这些管线设施会跟随工作台运动。当工作台的定位精度要求比较高时，这些管线设施对工作台产生的拉力就不可忽略。为了提高工作台的定位精度，就需要设计一套消除或者大幅缩小管线设施对工作台定位影响的系统。

专利US6937911B2提出了一种补偿方法，该方法在精密运动的驱动电机结构中加入一小质量体。其小质量体在驱动电机结构之上，小质量体和驱动电机结构之间用气浮轴承连接。管线设施从外界接进来以后先连接到质量体上，然后再通过另外一段管线设施连接到电机上。这样，电机电缆通过小质量体转接后，最终连接到了驱动电机上。通过控制小质量体在驱动电机之上的相对运动从而来补偿管线设施对电机的扰动力。

上述的技术仅仅提出了一种对驱动装置(如直线电机)补偿管线扰动力的方法，这种方法局限在一维方向上，并且对尺寸空间的合理布局没有给出具体解决方式。

发明内容

本发明提出一种精密工件台及其管线设施驱动装置，能够在X、Y两个方向上消除或减少管线设施的干扰力。

为了达到上述目的，本发明提出一种管线设施驱动装置，用于驱动精密运动台中的管线设施，精密运动台的工作台沿X向可滑动地设置在X向导轨上，X向导轨的两端沿Y向可滑动地设置在两个Y向导轨上，管线设施连接至工作台。管线设施驱动装置包括：两个Y向滑块，分别可滑动地设置在两个Y向导轨上，并且随着Y向驱动装置移动；滑块导轨，两端分别固定在两个Y向滑块上；X向滑块，可滑动地设置在滑块导轨上；以及管线设施驱动电机，连接至X向滑块，用以驱动X向滑块与工作台同步移动，其中管线设施穿过两个Y向滑块之一和X向滑块并固定在其中。

可选的，其中两个Y向滑块包括第一对插装置，用于固定穿过Y向滑块的管线设施，X向滑块包括第二对插装置，用于固定穿过X向滑块的管线设施。

可选的，其中所述X向滑块是利用真空腔与气浮结构悬浮在滑块导轨上。

可选的，其中管线设施为气管、水管、信号线或电源线。

可选的，其中两个Y向滑块通过柔性铰链连接至Y向驱动装置，以随着Y向驱动装置移动。

可选的，管线设施驱动装置还包括直线驱动装置，用以驱动两个Y向滑块与Y向驱动装置同步移动。

可选的，其中滑块导轨通过柔性铰链连接至Y向滑块。

本发明还提出了一种包括上述管线设施驱动装置的精密工件台。

本发明针对高精度平台中X、Y两个方向的管线设施的干扰力给出了合理的防干扰方案，利用主动控制的驱动系统来补偿管线设施对工作台造成的干扰力。另外，本发明的技术方案针对高精度工件台小型化、轻量化的特点，给出了缩小空间尺寸的具体方案。

附图说明

图1所示为本发明第一实施例中具有管线设施驱动装置结构的精密运动台结构俯视示意图；

图2所示为图1中精密运动台的Y向侧视图；

图3所示为本发明第一实施例中具有管线设施驱动装置结构的精密运动台结构立体示意图；

图4所示为本发明第二实施例中具有管线设施驱动装置结构的精密运动台结构俯视示意图。

具体实施方式

为了更了解本发明的技术内容，特举具体实施例并配合所附图式说明如下。

图1所示为本发明第一实施例中具有管线设施驱动装置结构的精密运动台结构俯视示意图；图2所示为图1中精密运动台的Y向侧视图；图3所示为本发明第一实施例中具有管线设施驱动装置结构的精密运动台结构立体示意图。

精密运动台包括工作台1、光滑台面2、两个沿Y向设置的Y向导轨3和沿X向设置的X向导轨5。光滑台面2水平放置，用以支撑工作台1，支撑方式在后文详述。