[发明专利]红外窗口的氧化铝保护膜制备方法无效
| 申请号： | 200910247645.4 | 申请日： | 2009-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102115868A | 公开（公告）日： | 2011-07-06 |
| 发明（设计）人： | 周东平;赵培 | 申请（专利权）人： | 上海欧菲尔光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/08;G02B1/10 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 杨元焱 |
| 地址： | 200434 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 红外 窗口 氧化铝 保护膜 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种红外窗口的氧化铝保护膜制备方法，是在红外窗口基片的两面分别制备一层Al2O3保护膜，其特征在于：所述的Al2O3保护膜是利用电子束直接蒸发金属铝形成铝原子蒸气，与离子源产生的氧离子在基片表面通过化学反应生成Al2O3沉积在基片表面制备而成。
2.如权利要求1所述的红外窗口的氧化铝保护膜制备方法，其特征在于：所述的铝原子蒸气与离子源产生的氧离子在基片表面通过化学反应生成Al2O3沉积在基片表面的工艺参数为：
本底真空度：0.5～6.0×10-3Pa；
工作真空度：8.0×10-3～3.0×10-2Pa；
温度：150～350℃；
离子源功率：500～2000W；
工作气体：O2，Ar；
充气流量：10～200sccm；
沉积速率：3～20nm/min。
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